[实用新型]高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备

权利要求书

1.高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备，包括放料冷却腔(1)、收料冷却腔(4)以及用于所述放料冷却腔(1)和收料冷却腔(4)抽真空的真空泵(7)；所述放料冷却腔(1)内设置有石墨烯生长基底放料辊(11)和放料冷却区导向辊(12)，所述收料冷却腔(4)内设置有石墨烯基底收料辊(41)以及收料冷却腔导向辊(42)；

其特征在于：还包括第一高温工艺腔(2)、第二高温工艺腔(3)以及过渡腔(5)；所述第一高温工艺腔(2)的两端和第二高温工艺腔(3)的两端均设置有匀流隔热装置(9)；所述第一高温工艺腔(2)和第二高温工艺腔(3)上均设置有加热器(10)；

所述第一高温工艺腔(2)与第二高温工艺腔(3)均竖向布置；所述第一高温工艺腔(2)一端与放料冷却腔(1)连接且连通，另一端与过渡腔(5)连接且连通，所述第二高温工艺腔(3)一端与过渡腔(5)连接且连通，另一端与收料冷却腔(4)连接且连通；所述过渡腔(5)内第一高温工艺腔(2)以及第二高温工艺腔(3)对应的位置均设置有过渡辊(52)；

石墨烯生长基底放料辊(11)上放料石墨烯生长基底(6)依次经过放料冷却区导向辊(12)、第一高温工艺腔(2)、过渡腔(5)中的过渡辊(52)、第二高温工艺腔(3)、收料冷却腔导向辊(42)最终卷收到石墨烯基底收料辊(41)上。

2.如权利要求1所述的高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备，其特征在于：所述过渡腔(5)内设置有检测石墨烯生长基底(6)张力的张力检测装置(51)。

3.如权利要求1所述的高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备，其特征在于：所述收料冷却腔导向辊(42)采用水冷导向辊。

4.如权利要求1所述的高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备，其特征在于：第一高温工艺腔(2)的两端均通过多点进气密封法兰(8)分别与放料冷却腔(1)和过渡腔(5)连接，第二高温工艺腔(3)的两端均通过多点进气密封法兰(8)分别与过渡腔(5)和收料冷却腔(4)连接。

5.如权利要求4所述的高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备，其特征在于：所述多点进气密封法兰(8)包括外法兰(82)、内法兰(83)以及密封胶圈(84)，所述内法兰(83)具有凸台端，所述外法兰(82)设置有与内法兰(83)匹配的凹槽，所述密封胶圈(84)安装在凹槽内，所述内法兰(83)的凸台端插入外法兰(82)的凹槽内，且顶紧密封胶圈(84)，所述内法兰(83)上设置有连通内法兰(83)内圈的通气通道(81)。

6.如权利要求1所述的高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备，其特征在于：所述匀流隔热装置(9)包括至少两层隔热板(91)以及支撑柱(92)，所述支撑柱(92)设置在相邻两层隔热板(91)之间；所述隔热板(91)上设置有中心通孔(93)以及均匀分布的透气孔，所述相邻两层隔热板(91)上的透气孔错位分布。

7.如权利要求6所述的高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备，其特征在于：所述隔热板(91)上的中心通孔(93)为沿径向的通槽。

8.如权利要求1所述的高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备，其特征在于：所述放料冷却腔(1)设置有一个真空泵(7)，所述收料冷却腔(4)设置有一个真空泵(7)。

9.如权利要求1所述的高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备，其特征在于：所述加热器(10)采用电阻加热器。