[实用新型]一种用于低幅度温度调制测量的高稳定度非接触膨胀计

权利要求书

1.一种用于低幅度温度调制测量的高稳定度非接触膨胀计，主要包括真空加热炉(1)、样品管(2)、位于样品管(2)内的样品架I(3)和样品架II(4)、激光干涉仪感应头(5)、激光器(6)、冷却水机(7)、氦气流量控制系统(8)、空气流量控制系统(9)、加热管电源(10)、反馈电路(11)、计算机(12)、气管I(13)、气管II(14)、水管(15)、光路I(16)、光路II(17)、主要由卤素灯和硅保护管组成的加热管(18)、加热炉盖子(19)、石英窗口(20)、反射器(21)，所述样品管(2)通过螺丝与所述加热炉盖子(19)连接，所述激光器(6)发射光路I(16)和光路II(17)两束激光能够分别打在位于样品架I(3)上的被测样品和位于样品架II(4)上的对照样品表面上，所述激光干涉仪感应头(5)通过单模玻璃纤维线缆与所述激光器(6)连接，所述氦气流量控制系统(8)通过所述气管I(13)连接所述样品管(2)，所述空气流量控制系统(9)通过所述气管II(14)连接所述加热管(18)的硅保护管，位于所述真空加热炉(1)外的所述冷却水机(7)通过所述水管(15)连接所述加热管(18)的硅保护管，以冷却所述卤素灯的发热组件，所述氦气流量控制系统(8)、空气流量控制系统(9)、加热管电源(10)、反馈电路(11)均位于所述真空加热炉(1)外并连接所述计算机(12)，

其特征是：所述样品管(2)、加热管(18)均具有三套并均位于所述真空加热炉(1)内，所述样品管(2)处于所述真空加热炉(1)的中心位置，所述真空加热炉(1)的内腔上下均具有金属箔反射涂层、侧壁为三个横截面是椭圆轮廓形状的反射器(21)，每个所述反射器(21)的各自的一个椭圆焦点均对应于一个所述加热管(18)内的卤素灯所在位置、各自的另一个椭圆焦点重合于所述样品管(2)所在位置，从而能够将所述加热管(18)的绝大部分热量都汇聚到所述样品管(2)处，能够使得所述真空加热炉(1)腔壁保持冷却状态，所述真空加热炉(1)具有一个透明的石英窗口(20)以便激光光束或样品进入，激光束的大气光路保持在100mm左右，所述真空加热炉(1)和所述激光干涉仪感应头(5)之间连接有一个装有被动空气悬浮系统的重石桌，能够隔离振动。