[实用新型]水分测定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及水分测定装置。

背景技术

作为对测定对象(工件)的水分进行测定的水分测定装置，已知利用具有相对于水的吸收波长的红外线的装置。在利用红外线的水分测定装置中，将上述红外线向测定对象照射，算出被测定对象吸收的红外线的量，由此测定测定对象内的水分量。

在上述水分测定装置的测定对象为光学膜的情况下，红外线的大多数通过光学膜。因而，水分测定装置在向光学膜照射红外线的照射方向上，在光学膜的后方(背面)侧具备反射板，在照射至光学膜并通过光学膜后的红外线被反射板朝向光学膜反射之后，检测通过光学膜后的红外线。

在向光学膜照射红外线时，光学膜的红外线的透射率(或反射率)有时因由光学膜内的多重反射引起的光干涉现象而发生变化。由这样的光干涉现象引起的透射率(或反射率)的变化未反映光学膜内的水分量，因此有时无法准确测定水分。

实用新型内容

于是，本实用新型的目的在于，提供能够利用红外线而精度良好地测定出光学膜的水分率的水分测定装置。

本实用新型的水分测定装置将红外线向光学膜照射而测定上述光学膜的水分率，所述水分测定装置的特征在于，具备：光源部，其输出具有相对于水的吸收波长且向作为测定对象的光学膜照射的红外线；反射板，其将照射至上述光学膜并透过上述光学膜后的上述红外线向上述光学膜侧反射；检测部，其检测由上述反射板反射且透过上述光学膜后的上述红外线；以及散射板，其配置于从上述光源部至上述光学膜的上述红外线的光路上，且使上述红外线一边散射一边通过。

在上述水分测定装置中，从光源部输出且向光学膜入射的红外线通过光学膜并由反射板反射。由反射板反射后的红外线再次通过光学膜并由检测部检测。在红外线通过光学膜时，红外线的一部分被光学膜内的水分吸收。因此，例如通过对由检测部检测出的红外线中的相对于水的吸收波长的成分量与从光源部输出的红外线中的相对于水的吸收波长的成分量进行比较，能够测定出光学膜的水分率。从光源部输出的红外线在入射光学膜之前通过散射板，因此指向性得到缓和。因而，即使在光学膜内发生多重反射，光干涉现象也被平均化，与光干涉现象相伴的透射率(或反射率)的变化得到抑制。其结果是，本实用新型的水分测定装置能够精度良好测定出光学膜的水分率。

也可以是，上述光源部具有：光源，其输出比上述红外线的波长范围宽的波长范围的光；滤波部，其通过将来自上述光源的输出光的波长范围缩窄而生成上述红外线；以及聚光透镜，其配置于上述光源与上述滤波部之间，且对来自上述光源的输出光进行聚光。在该情况下，光源的选择范围变宽，因此例如能够降低水分测定装置的制造成本。而且，由聚光透镜聚集来自光源的光，因此能够提高来自光源的输出光的利用效率。

也可以是，上述水分测定装置还具有照射光学系统，该照射光学系统将从上述光源部输出的上述红外线向上述光学膜照射。在该情况下，能够将来自光源部的红外线更加可靠地照射至光学膜的所期望的区域。

也可以是，上述检测部具有：红外线检测器，其接受上述红外线；和检测光学系统，其使由上述反射板反射且透过上述光学膜后的上述红外线向上述红外线检测器入射。若采用该检测部，则能够利用检测光学系统将待检测的红外线引导至红外线检测器，并由红外线检测器检测出该红外线。因此，能够由红外线检测器检测出更多的红外线。

也可以是，所述水分测定装置还具备：照射光学系统，其将来自上述光源部的上述红外线向上述光学膜照射；红外线检测器，其接受上述红外线；以及检测光学系统，其使由上述反射板反射且透过上述光学膜后的上述红外线向上述红外线检测器入射，上述光源部具有：光源，其输出比上述红外线的波长范围宽的波长范围的光；滤波部，其通过将来自上述光源的输出光的波长范围缩窄而生成上述红外线；以及聚光透镜，其配置于上述光源与上述滤波部之间，且对来自上述光源的输出光进行聚光。

上述红外线的波长范围例如是1500nm～2500nm。

也可以是，上述反射板的反射率针对上述红外线的波长范围具有96％以上的反射率。由此，即使具备散射板，也能够确保检测部接受红外线的受光量。

上述反射板的反射面的材料例如是金。由此，例如能够在反射板中针对上述红外线的波长范围实现97％以上的反射率。

如上所述，根据本实用新型，可提供能够利用红外线而精度良好地测定光学膜的水分率的水分测定装置。

附图说明

图1是表示本实用新型的一实施方式的水分测定装置的简要结构的示意图。