[实用新型]一种太赫兹连续波快速精准扫描系统

权利要求书

1.一种太赫兹连续波快速精准扫描系统，其特征是，包括X轴电机、Y轴电机、X轴光栅尺及Y轴光栅尺，X轴电机和Y轴电机分别通过X轴传动结构和Y轴传动结构带动X轴和Y轴转动；驱动所述X轴电机和Y轴电机运动的驱动器接收FPGA控制主板的电机控制模块发送的脉冲信号，该脉冲信号来自FPGA内部锁相环输出的高速倍频时钟；X轴光栅尺通过时钟发生器与所述FPGA控制主板连接，所述FPGA控制主板通过X轴光栅尺及Y轴光栅尺实现扫描过程中的精确定位；上位机接收所述FPGA控制主板的数据采集模块采集的数据实现灰度成像。

2.如权利要求1所述一种太赫兹连续波快速精准扫描系统，其特征是，所述X轴光栅尺包括X轴标尺光栅和X轴光栅传感器，X轴标尺光栅固定在与X轴平行的支架上，X轴光栅传感器安装在X轴传动机构上。

3.如权利要求2所述一种太赫兹连续波快速精准扫描系统，其特征是，所述X轴光栅传感器输出的第二路方波信号与所述时钟发生器相连，时钟发生器输出间断的时钟信号给所述FPGA控制主板作为A/D信号采集时钟。

4.如权利要求2所述一种太赫兹连续波快速精准扫描系统，其特征是，所述X轴光栅传感器与X轴标尺光栅相对移过一个栅距，X轴光栅传感器就输出两路正交的方波信号，当X轴光栅传感器运行至X轴标尺光栅中心点时会输出一个X轴标尺中心点脉冲信号。

5.如权利要求2所述一种太赫兹连续波快速精准扫描系统，其特征是，所述Y轴光栅尺包括Y轴标尺光栅、Y轴光栅传感器，Y轴标尺光栅固定在与Y轴平行的支架上，Y轴光栅传感器安装在Y轴传动机构上。

6.如权利要求5所述一种太赫兹连续波快速精准扫描系统，其特征是，所述FPGA控制主板包括扫描位置模块，实时读取计数X轴光栅传感器、Y轴光栅传感器输出的第一路方波信号，实现X轴、Y轴扫描坐标精确定位。

7.如权利要求6所述一种太赫兹连续波快速精准扫描系统，其特征是，所述Y轴光栅传感器与Y轴标尺光栅相对移过一个栅距，Y轴光栅传感器就输出两路正交的方波信号，当Y轴光栅传感器运行至Y轴标尺光栅中心点时会输出一个Y轴标尺中心点脉冲信号。

8.如权利要求1所述一种太赫兹连续波快速精准扫描系统，其特征是，所述FPGA控制主板包括数据传输模块，数据传输模块采用PCIE总线，实现FPGA控制主板与上位机的数据传输功能。

9.如权利要求1所述一种太赫兹连续波快速精准扫描系统，其特征是，所述时钟发生器包括依次连接的分路器、延迟模块、合路器及方波整形器。