[实用新型]一种基板蒸镀载具及蒸镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示产品的制造领域，特别是指一种基板蒸镀载具及蒸镀设备。

背景技术

在现有的显示基板的制作工序中，需要使用很多的蒸镀工艺以形成各类别的功能图形。在蒸镀工艺过程中，蒸镀设备需要将靶材蒸镀到基板上并进行沉积，在靶材沉积完成后即可得到相应的功能图形。

在传统的蒸镀设备中，蒸镀载具只能固定一个基板，在一次蒸镀工艺完成后，需要将已形成好功能图形的基板取出，并换上待蒸镀的新基板，显然对于生产线来讲，这种方式需要较为频繁的更换基板，每次基板固定在载具上都需要重新进行定位测量，特别是较大尺寸的基板更换时间较长，造成了成本上的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的解决现有蒸镀设备需要在蒸镀作业过程中频换更换待蒸镀基板的问题。

为实现上述目的，一方面本实用新型的实施例提供一种基板蒸镀载具，包括：

具有多个工作面的工作台，每一工作面上均设置有至少一个用于固定待蒸镀基板的固定结构；

用于驱动所述工作台旋转以使其中一个工作面朝向蒸镀装置的驱动机构，所述蒸镀装置用于对其朝向的工作面上固定的待蒸镀基板进行蒸镀。

其中，所述多个工作面具有一个中心轴；

所述驱动机构驱动所述工作台以所述中心轴进行旋转。

其中，所述工作台设置有内孔，所述内孔的轴线与所述中心轴重合；

所述驱动装置包括：

与所述内孔匹配连接的传动轴，以及驱动所述传动轴旋转以带动所述工作台旋转的马达。

其中，上述基板蒸镀载具还包括：

座体，所述座体设置有滑槽，所述滑槽内部设置有弹簧和与所述弹簧相抵、的推块，所述弹簧未与所述推块相抵的一端固定在所述滑槽内部，所述推块的位于弹簧相抵的一端固定有卡位块，所述传动轴的表面固定有多个以传动轴为中心均匀分布的凸块，所述卡位块的外轮廓与相邻两个凸块之间所形成弧形面相匹配；

在所述马达未通过所述传动轴带动所述工作台旋转时，所述卡位块受所述弹簧的弹性力而插入相邻两个凸块之间，以使所述传动轴轴固定；在所述马达通过所述传动轴带动所述工作台旋转时，所述传动轴上的凸块克服所述弹簧的弹性力将所述卡位块从其相邻的两个凸块之间顶出，以使所述传动轴带动所述工作台进行旋转。

其中，所述基板蒸镀载具还包括：

接触所述传动轴并给所述传动轴提供摩擦力的弹簧卡片；

其中，所述马达在克服所述弹簧卡片给所述传动轴提供的摩擦力后，驱动所述传动轴旋转以带动所述工作台旋转。

其中，所述工作台呈柱体结构，包括顶面、底面以及多个侧面，所述多个工作面均为所述柱体结构的侧面；

所述固定结构为与所述待蒸镀基板的形状相匹配的凹槽导轨，所述凹槽导轨的导轨侧壁在顶部延伸有用于限制所述待蒸镀基板从凹槽导轨脱落的阻挡部，且在所述待蒸镀基板放置在所述凹槽导轨内部时，所述阻挡部露出待蒸镀基板的待蒸镀区域。

其中，所述凹槽导轨在所述柱体结构的顶面和/或底面上形成用于将所述待蒸镀基板放入至凹槽导轨内部的开口。

其中，所述基板蒸镀载具还包括：

设置在所述凹槽导轨上、且限制所述待蒸镀基板在凹槽导轨的延伸方向进行滑动的定位栓。

其中，所述基板蒸镀载具还包括：

设置在所述蒸镀装置与所述工作台之间的遮挡板，所述遮挡板设置有开口，所述工作台其中一个工作面通过所述遮挡板上的开口朝向所述蒸镀装置。

另一方面，本实用新型还提供一种蒸镀设备，包括：蒸镀装置以及上述基板蒸镀载具。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：

在本实用新型的方案中，工作台通过多个固定结构可以设置多个待蒸镀基板，通过旋转工作台的方式使蒸镀设备分别对每个工作面上的待蒸镀基板进行蒸镀，在所有待蒸镀基板完成蒸镀后，可以一次大批量的更换待蒸镀基板，从而有效降低了待蒸镀基板的更换频率，进而提高了蒸镀效率。

附图说明

图1为本实用新型的基板蒸镀载具的一种结构示意图

图2为本实用新型的基板蒸镀载具的另一种结构示意图；

图3为本实用新型的基板蒸镀载具实现转动轴处于轴固定状态的一种结构示意图；

图4为本实用新型的基板蒸镀载具实现转动轴处于轴固定状态的另一种结构示意图；

图5为本实用新型的蒸镀设备的结构示意图。

具体实施方式