[实用新型]光学监控系统多片式膜厚修正装置有效
| 申请号： | 201720334791.0 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN206706201U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 王静辉;郑燕飞;邓琪 | 申请（专利权）人： | 王静辉;郑燕飞;邓琪 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市平*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 监控 系统 多片式膜厚 修正 装置 | ||
【权利要求书】：
1.光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架（1）、膜厚修正板（2）和基板（5），其特征在于：所述膜厚修正板（2）通过螺钉（3）和定位销钉（4）固定在膜厚修正板支架（1）上，所述膜厚修正板（2）的个数为8个，所述膜厚修正板（2）均匀分布在膜厚修正板支架（1）上，所述基板（5）的直径大于膜厚修正板支架（1）的直径。
2.根据权利要求1所述的光学监控系统多片式膜厚修正装置，其特征在于，所述基板（5）的中心到膜厚修正板支架（1）的中心之间的距离大于基板（5）和膜厚修正板支架（1）的半径和。
3.根据权利要求1所述的光学监控系统多片式膜厚修正装置，其特征在于，所述膜厚修正板（2）由金属或塑料材质制备而成。
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