[实用新型]具有预错位栅孔离子引出栅极板的离子源

权利要求书

1.具有栅孔板离子引出系统的离子源，其特征在于采用了具有内外侧栅孔板对应孔开孔位置预错位的凸曲面栅孔板组，这种预错位栅孔板组中，外侧栅孔板与内侧栅孔板上的开孔一一对应，但相对应孔在外侧栅孔板上的开孔位置比在内侧栅孔板上的开孔位置略远离轴线。

2.如权利要求1所述的离子源，其特征在于离子引出系统的内侧栅孔板指考夫曼离子源的屏极栅孔板，外侧栅孔板指考夫曼离子源的加速极栅孔板。

3.如权利要求1所述的离子源，其特征在于离子引出系统的内侧栅孔板指射频离子源的屏极栅孔板，外侧栅孔板指射频离子源的加速极栅孔板。

4.如权利要求1所述的离子源，其特征在于离子引出系统的内侧栅孔板指射频离子源的加速极栅孔板，外侧栅孔板指射频离子源的抑制极栅孔板。

5.如权利要求1所述的离子源，其特征在于离子引出系统的内外栅孔板对应孔的开孔位置的预错位，根据栅孔板的口径、栅孔直径和凸曲面形状设计，从几微米到几百微米。