[实用新型]一种针对甚多束激光靶点波前测试装置

权利要求书

1.一种针对甚多束激光靶点波前测试装置，其特征在于，包括：

同光轴设置的准直缩束透镜和波前传感器，激光光束经准直缩束透镜缩束成平行光，平行光入射至波前传感器；

第一平移台，所述准直缩束透镜位于第一平移台上，且第一平移台能够沿着准直缩束透镜的光轴移动；

第二平移台，所述第一平移台和波前传感器位于第二平移台上，所述第二平移台的底部设有第一电动推杆；

调整平台，所述调整平台依次包括呈直线式设置的第一旋转平台、六自由度运动平台以及与第二平移台铰接的第二旋转平台，所述六自由度运动平台的2个平台分别与第一旋转平台、第二旋转平台固定连接，所述第一旋转平台、第二旋转平台垂直设置，且第二旋转平台与第一电动推杆连接；

以及控制系统，所述控制系统分别与波前传感器、第一旋转平台、六自由度运动平台、第二旋转平台和第一电动推杆连接。

2.根据权利要求1所述的一种针对甚多束激光靶点波前测试装置，其特征在于，所述第一平移台的底部设有滑动机构，所述滑动机构包括固定板、滑动板以及与控制系统连接的第二电动推杆，所述固定板位于滑动板的下方，且固定板与第二平移台固定连接，所述滑动板与第一平移台固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种针对甚多束激光靶点波前测试装置，其特征在于，所述固定板上表面设置平行于准直缩束透镜光轴的凹槽，所述滑动板的下表面设有与凹槽匹配的凸耳，所述第二电动推杆的电机端和推杆端分别通过连接块与固定板、滑动板连接。

4.根据权利要求2所述的一种针对甚多束激光靶点波前测试装置，其特征在于，所述第一电动推杆沿着垂直方向设置，其电机端与第二旋转平台连接，其推杆端与第二平移台连接，所述第二电动推杆沿着水平方向设置。

5.根据权利要求1所述的一种针对甚多束激光靶点波前测试装置，其特征在于，所述第一旋转平台沿着水平方向设置，所述第二旋转平台沿着垂直方向设置。

6.根据权利要求1所述的一种针对甚多束激光靶点波前测试装置，其特征在于，所述甚多束激光光束具有相同的光束口径，且沿不同方向入射，经相同焦距的聚焦透镜聚焦于同一靶点，所述准直缩束透镜与聚焦透镜匹配。

7.根据权利要求6所述的一种针对甚多束激光靶点波前测试装置，其特征在于，所述控制系统具备波前采集、波前参考设置、波前Zernike模式分解与分析功能。