[实用新型]镀膜夹具和镀膜设备有效
| 申请号： | 201720341029.5 | 申请日： | 2017-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN206956152U | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;蒋春磊;石磊 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;B05C13/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 夹具 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜夹具，其特征在于，
包括基座和可拆卸地安装在所述基座上的多个夹持件，所述基座具有基座转轴，每个所述夹持件上设有多个夹持孔，每个所述夹持件上的多个所述夹持夹持孔的轴向一致，多个所述夹持件上的所述夹持孔的轴向与所述基座转轴的夹角均相同，或者至少一个所述夹持件的所述夹持孔的轴向与所述基座转轴的夹角不同。
2.根据权利要求1所述的镀膜夹具，其特征在于，
所述基座为柱体，所述基座包括外周侧面，多个所述夹持件环绕在所述外周侧面上。
3.根据权利要求2所述的镀膜夹具，其特征在于，
所述夹持件包括贴合所述基座的内表面，以及与所述内表面相对的外表面，且在沿所述基座的轴向上，所述内表面的投影长度小于所述外表面的投影长度。
4.根据权利要求1-3任一项所述的镀膜夹具，其特征在于，
所述夹持件包括相连的夹持部和连接部，多个所述夹持孔开设于所述夹持部上，所述连接部与所述基座可拆卸相连。
5.根据权利要求1-3任一项所述的镀膜夹具，其特征在于，
所述基座具有中心孔，所述中心孔的孔壁上开设有键槽。
6.一种镀膜设备，其特征在于，
包括镀膜室，所述镀膜室内设有机架以及权利要求1-5任一项所述的镀膜夹具，所述基座可转动地与所述机架相连。
7.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，
所述机架包括机架转轴，所述基座套设在所述机架转轴上，并跟随所述机架转轴转动。
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