[实用新型]一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门有效
| 申请号： | 201720345561.4 | 申请日： | 2017-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN206599608U | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 张玉西 | 申请（专利权）人： | 深圳市宏基真空镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 装有 真空镀膜 拼装 | ||
1.一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机(1)、安装口(6)、拼装门(10)和紧固件(15)，其特征在于：所述真空镀膜机(1)内置有工件转架(3)，所述工件转架(3)一侧安装真空系统(12)，所述安装口(6)位于真空系统(12)上方，且安装口(6)内壁固定连接有门框(17)，所述门框(17)一侧设置有限位块(9)，且门框(17)上方设有弧源电源(4)和靶材电源(8)，所述拼装门(10)通过第一滑轨(5)和第二滑轨(7)固定在安装口(6)，所述第一滑轨(5)和第二滑轨(7)分别连接在门框(17)的上边缘和下边缘，所述拼装门(10)内侧安装有加热源(13)，且拼装门(10)上固定连接有弧源(11)，所述弧源(11)下方设有偏压电源接口(2)，所述紧固件(15)通过铰链(16)固定在真空镀膜机(1)外侧，且紧固件(15)与拼装门(10)接触端设有密封垫片(14)。
2.根据权利要求1所述的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，其特征在于：所述拼装门(10)上下端口均固定有凸块(18)，且凸块(18)紧密卡合在第一滑轨(5)和第二滑轨(7)内壁之间。
3.根据权利要求1所述的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，其特征在于：所述拼装门(10)上的弧源(11)安装有一个或者多个，且位置不同。
4.根据权利要求1所述的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，其特征在于：所述第一滑轨(5)、第二滑轨(7)和限位块(9)与拼装门(10)的接触面均设有密封圈。
5.根据权利要求1所述的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，其特征在于：所述门框(17)与真空镀膜机(1)之间通过焊接固定连接。
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