[实用新型]一种拆解单晶的拆分机械手有效

专利信息
申请号: 201720348980.3 申请日: 2017-04-05
公开(公告)号: CN207290130U 公开(公告)日: 2018-05-01
发明(设计)人: 靳立辉;张学强;崔振强;王国瑞;陈志达 申请(专利权)人: 天津中环半导体股份有限公司
主分类号: B25J15/00 分类号: B25J15/00;B23P19/02
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211 代理人: 李纳
地址: 300384 天津市滨海新区高新区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 拆解 拆分 机械手
【权利要求书】:

1.一种拆解单晶的拆分机械手,包括架体(1),其特征在于:还包括设于所述架体顶端的横向导轨(11)、设于所述横向导轨(11)上并可沿所述横向导轨(11)滑动的水平移动机构(2)及设于所述水平移动机构(2)上并可在纵向上滑动的升降抓取机构(3);所述升降抓取机构(3)包括升降机构(4)和手爪(5),所述升降机构(4)包括上连接板(41)、下连接板(42)、固定于所述上连接板(41)的升降伺服电机(43)及通过所述升降伺服电机(43)控制带动所述下连接板(42)上下移动的丝杠(44),所述手爪(5)通过若干个连接光轴(6)和加强肋(7)与所述下连接板(42)固定连接;所述手爪(5)包括与所述下连接板(42)固接的固定板(51)、固定于所述固定板(51)上的两个第一气缸(52)、两个第二气缸(53)、两个横向夹爪(54)及两个纵向夹爪(55);两个所述第一气缸(52)控制两个所述横向夹爪(54)的开合,两个所述第二气缸(53)控制两个所述纵向夹爪(55)的开合。

2.根据权利要求1所述的一种拆解单晶的拆分机械手,其特征在于:所述架体(1)包括横梁(12),所述横向导轨(11)固定于所述横梁(12)上,所述横梁(12)的侧壁上设有齿条;所述水平移动机构(2)包括纵向导轨(21)、纵向横梁(22)、第一伺服电机(23)及第一安装基板(24);所述纵向导轨(21)固定于所述纵向横梁(22)上,所述纵向横梁(22)的两端底部固定有所述第一安装基板(24),所述第一安装基板(24)通过导轨滑块固定于所述横向导轨(11)上,所述第一安装基板(24)上固定有所述第一伺服电机(23),所述第一伺服电机(23)的输出轴上安装有与所述横向齿条相匹配的齿轮。

3.根据权利要求2所述的一种拆解单晶的拆分机械手,其特征在于:所述纵向横梁(22)的侧壁上设有纵向齿条(25);所述升降机构(4)还 包括第二安装基板(45),所述第二安装基板(45)设于所述上连接板(41)及所述下连接板(42)之间,并通过导轨滑块固定于所述纵向导轨(21)上;所述第二安装基板(45)上固定安装有若干个与所述丝杠(44)平行设置的直线轴承(46),直线轴承(46)内设有导向光轴(47),所述导向光轴(47)的上端与所述上连接板(41)固接,下端穿过所述第二安装基板(45)与所述下连接板(42)固接;所述丝杠(44)的丝杠螺母固定于所述第二安装基板(45)上;所述第二安装基板(45)一端固定有第二伺服电机(48),所述第二伺服电机(48)的输出轴上安装有与所述纵向齿条(25)相匹配的齿轮。

4.根据权利要求1到3任一项所述的一种拆解单晶的拆分机械手,其特征在于:所述横向夹爪(54)通过浮动接头与所述第一气缸(52)的缸杆相连接;所述纵向夹爪(55)通过两个相对设置的手爪安装板(57)分别与所述第二气缸(52)相连接;其中,每个所述手爪安装板(57)通过设置于所述手爪安装板(57)下方的手爪导轨(56)与所述固定板(51)滑动连接,所述第二气缸(53)与所述手爪安装板(57)之间同样通过浮动接头连接。

5.根据权利要求1到3任一项所述的一种拆解单晶的拆分机械手,其特征在于:所述纵向夹爪(55)是由至少2个纵向分夹爪组成,所述纵向分夹爪之间通过加强筋(58)相固接。

6.根据权利要求1到3任一项所述的一种拆解单晶的拆分机械手,其特征在于:所述横向夹爪(54)是由至少2个横向分夹爪组成。

7.根据权利要求4所述的一种拆解单晶的拆分机械手配合使用的工装,其特征在于:所述工装包括工装盖板(81)、设置于所述工装盖板(81)下方的料座(82)及设于所述料座(82)下方的工装底座(83);所述工装盖板(81)、所述料座(82)及所述工装底座(83)的边缘设有与所述纵向夹 爪和/或所述横向夹爪相适应的抓取凹槽(84)。

8.根据权利要求5所述的一种拆解单晶的拆分机械手配合使用的工装,其特征在于:所述工装包括工装盖板(81)、设置于所述工装盖板(81)下方的料座(82)及设于所述料座(82)下方的工装底座(83);所述工装盖板(81)、所述料座(82)及所述工装底座(83)的边缘设有与所述纵向夹爪和/或所述横向夹爪相适应的抓取凹槽(84)。

9.根据权利要求6所述的一种拆解单晶的拆分机械手配合使用的工装,其特征在于:所述工装包括工装盖板(81)、设置于所述工装盖板(81)下方的料座(82)及设于所述料座(82)下方的工装底座(83);所述工装盖板(81)、所述料座(82)及所述工装底座(83)的边缘设有与所述纵向夹爪和/或所述横向夹爪相适应的抓取凹槽(84)。

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