[实用新型]一种硅片承载盒

权利要求书

1.一种硅片承载盒，其特征在于，包括底板(1)和两个相邻设置于所述底板(1)的两个相邻侧边的侧壁(2)，所述底板(1)的顶面和两个所述侧壁(2)围成容置空间，所述容置空间用于堆放硅片；

两个所述侧壁(2)的交界处断开形成缺口(22)。

2.如权利要求1所述的硅片承载盒，其特征在于，所述底板(1)的底面连接有转动机构，所述转动机构用于调整所述底板(1)的倾斜角度。

3.如权利要求2所述的硅片承载盒，其特征在于，所述转动机构包括与所述底板(1)铰接的支撑轴(31)，所述支撑轴(31)外套设有固定部(32)，所述固定部(32)能够沿所述支撑轴(31)滑动，所述底板(1)相对所述支撑轴(31)转动并倾斜后与所述固定部(32)固定。

4.如权利要求3所述的硅片承载盒，其特征在于，所述固定部(32)与所述底板(1)通过螺钉固定。

5.如权利要求3所述的硅片承载盒，其特征在于，所述支撑轴(31)的端部为球形，所述底板(1)与所述支撑轴(31)的端部铰接，所述底板(1)相对所述支撑轴(31)的端部转动并向两个所述侧壁(2)的夹角方向倾斜后与所述固定部(32)固定。

6.如权利要求1所述的硅片承载盒，其特征在于，所述底板(1)的底面与固定座(33)连接，所述固定座(33)的上端面为向两个所述侧壁(2)的夹角方向倾斜的斜面，所述底板(1)与所述上端面固定。

7.如权利要求1-6任一项所述的硅片承载盒，其特征在于，所述侧壁(2)的内表面设置有缓冲带(21)，所述缓冲带(21)沿垂直于所述底板(1)的方向设置。

8.如权利要求7所述的硅片承载盒，其特征在于，所述缓冲带(21)由海绵或硅胶制成。

9.如权利要求7所述的硅片承载盒，其特征在于，所述缓冲带(21)的数量为多个，多个所述缓冲带(21)平行设置于所述侧壁(2)的内表面。