[实用新型]一种制备电子级三氯氢硅的装置有效
| 申请号： | 201720362913.7 | 申请日： | 2017-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN206624652U | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 刘见华;赵雄;万烨;姜丽霞;郭树虎;杨永亮;严大洲;杜俊平;张升学 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01J19/18 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 赵囡囡,金田蕴 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 电子 级三氯氢硅 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备电子级三氯氢硅的装置，其特征在于，包括：
反应器，用于芳香醛或芳香醛的衍生物与原料三氯氢硅进行反应；
提纯塔，用于将所述反应器中的反应产物先脱除部分重组分、再脱除轻组分和剩余的重组分得到提纯产品；以及
吸附提纯单元，用于将所述提纯产品进一步去除杂质，得到电子级三氯氢硅。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提纯塔包括与所述反应器依次连通的第一脱重塔、脱轻塔和第二脱重塔，其中，所述脱轻塔和所述第二脱重塔采用差压热耦合。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提纯塔为填料塔或筛板塔。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述提纯塔的内壁表面粗糙度为0.1～0.5μm，阀门为隔膜阀。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器为具有控温、控压和搅拌功能的反应器。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述吸附提纯单元包括1台或多台吸附柱。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述吸附柱的高径比在2～9之间，所述吸附柱的内壁表面粗糙度为0.1～0.5μm。
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