[实用新型]一种紧凑型高可靠性的挡光式MEMS可调光衰减器有效
申请号: | 201720364873.X | 申请日: | 2017-04-10 |
公开(公告)号: | CN207133463U | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
发明(设计)人: | 陈建林;张超;林玲 | 申请(专利权)人: | 福建华科光电有限公司 |
主分类号: | G02B6/26 | 分类号: | G02B6/26;G02B6/32 |
代理公司: | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙)35212 | 代理人: | 林晓琴 |
地址: | 350000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 紧凑型 可靠性 挡光式 mems 调光 衰减器 | ||
1.一种紧凑型高可靠性的挡光式MEMS可调光衰减器,所述挡光式MEMS可调光衰减器包括双光纤头和MEMS芯片,所述双光纤头包括光信号输入光纤和光信号输出光纤,所述光信号输入光纤和所述光信号输出光纤对称分布于该挡光式MEMS可调式光衰减器中心轴线的两侧;其特征在于:所述挡光式MEMS可调光衰减器还包括透镜、反射镜及封装壳体,所述双光纤头、所述MEMS芯片、所述透镜及所述反射镜沿着该挡光式MEMS可调式光衰减器中心轴线方向自左而右依次设置于所述封装壳体内,所述双光纤头固定在所述MEMS芯片的前侧,所述透镜的前端与所述MEMS芯片的后侧相对设置,所述透镜的后端与所述反射镜的前端相对设置,所述反射镜处于所述光信号输入光纤和所述光信号输出光纤出射的两束光依次经所述MEMS芯片及所述透镜准直后的交叉点位置;所述封装壳体的内腔底板上设置有光纤头基座、透镜基座和反射镜基座,所述双光纤头固定于所述光纤头基座上,所述透镜固定于所述透镜基座上,所述反射镜固定于所述反射镜基座上;所述双光纤头与所述光纤头基座之间、所述透镜与所述透镜基座之间以及所述反射镜与所述反射镜基座之间的固定方式是通过锡进行焊接。
2.如权利要求1所述的一种紧凑型高可靠性的挡光式MEMS可调光衰减器,其特征在于:所述双光纤头与所述MEMS芯片之间的固定方式是通过胶进行粘接。
3.如权利要求1所述的一种紧凑型高可靠性的挡光式MEMS可调光衰减器,其特征在于:所述反射镜为玻璃反射平片,且所述反射镜的侧面镀有金膜。
4.如权利要求1所述的一种紧凑型高可靠性的挡光式MEMS可调光衰减器,其特征在于:所述透镜为球面C-Len透镜、非球面透镜或折射率渐变式透镜,且所述透镜的侧面镀有金膜。
5.如权利要求1所述的一种紧凑型高可靠性的挡光式MEMS可调光衰减器,其特征在于:所述双光纤头的侧面镀有金膜。
6.如权利要求1所述的一种紧凑型高可靠性的挡光式MEMS可调光衰减器,其特征在于:所述光纤头基座为镀金的金属光纤头基座、镀金的陶瓷光纤头基座或可锡焊的金属光纤头基座,所述透镜基座为镀金的金属透镜基座、镀金的陶瓷透镜基座或可锡焊的金属透镜基座,所述反射镜基座为镀金的金属反射镜基座、镀金的陶瓷反射镜基座或可锡焊的金属反射镜基座。
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