[实用新型]石墨舟陶瓷套快速安装装置有效
申请号: | 201720373339.5 | 申请日: | 2017-04-11 |
公开(公告)号: | CN206602124U | 公开(公告)日: | 2017-10-31 |
发明(设计)人: | 孙铁囤;汤平;姚伟忠 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673;H01L21/68 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 陶瓷 快速 安装 装置 | ||
1.一种石墨舟陶瓷套快速安装装置,其特征在于:包括用于放置石墨舟片(7)的平台(1)以及设置在所述平台(1)上的限位组件和安装组件,所述限位组件包括限位杆(3)以及平行设置在所述平台(1)上的限位槽(2),所述石墨舟片(7)竖直设于所述限位槽(2)内,每个所述限位槽(2)两侧均设有至少两个所述限位杆(3),所述限位杆(3)外套设有气囊(4),所述安装组件设于所述石墨舟片(7)长度方向的两侧,所述安装组件包括安装框(5)和安装板(6),所述安装框(5)包括第一限位板(5-1)以及垂直设于所述第一限位板(5-1)相对两端的两个第二限位板(5-2),所述第一限位板(5-1)和所述第二限位板(5-2)围设形成开口,所述开口沿靠近所述石墨舟片(7)的方向设置,所述第一限位板(5-1)沿长度方向设有多个通孔(5-3),所述安装板(6)包括连接板(6-1)以及设于所述连接板(6-1)一端的多个限位块(6-2),所述限位块(6-2)与所述连接板(6-1)垂直设置,所述限位块(6-2)位置和数量与所述通孔(5-3)一一对应,所述限位块(6-2)与所述通孔(5-3)配合,所述限位块(6-2)与所述石墨舟片(7)位置和数量一一对应,所述连接板(6-1)设于所述第一限位板(5-1)远离所述石墨舟片(7)的一侧。
2.如权利要求1所述的石墨舟陶瓷套快速安装装置,其特征在于:所述安装框(5)上设有控制所述安装框(5)靠近或远离所述石墨舟片(7)的第一驱动装置,所述连接板(6-1)上设有控制所述连接板(6-1)靠近或远离所述第一限位板(5-1)的第二驱动装置。
3.如权利要求1所述的石墨舟陶瓷套快速安装装置,其特征在于:所述气囊(4)上设有用于控制所述气囊(4)充气和放气的控制装置。
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