[实用新型]一种对位装置及蒸镀设备

权利要求书

1.一种对位装置，用于玻璃基板的对位，其特征在于，所述对位装置包括沿所述玻璃基板周向分布的至少四个对位机构、以及设置于所述至少四个对位机构顶部的冷却板机构，其中：

每个对位机构包括底座、能够沿所述底座的延伸方向滑动地安装于所述底座的滑块；所述底座朝向玻璃基板的一端设置有用于支撑所述玻璃基板的支撑面；所述滑块背离所述玻璃基板的一侧表面与水平面形成的开口朝向所述玻璃基板的夹角为锐角；

所述冷却板机构包括冷却板以及设置于所述冷却板、且与所述滑块一一对应抵接的驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述滑块朝向所述玻璃基板滑动。

2.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，沿所述底座的延伸方向，所述底座设置有滑轨，所述滑块安装于所述滑轨。

3.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，沿所述底座的延伸方向，所述底座的顶面设置有滑槽；所述滑块底面设置有与所述滑槽配合的凸起。

4.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，沿所述底座的延伸方向，所述底座的顶面设置有至少一个滑杆，所述滑块设置有与每个滑杆一一对应的导向孔。

5.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，每个所述对位机构还包括设置于所述底座和所述滑块之间的弹性件，所述弹性件用于使所述滑块朝向背离所述玻璃基板的方向移动。

6.根据权利要求5所述的对位装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。

7.根据权利要求1-6任一项所述的对位装置，其特征在于，所述驱动组件包括一端设置于所述冷却板的驱动件、以及与相互对应的滑块滚动配合的滚轮，所述滚轮能够绕其轴心线旋转地安装于所述驱动件的另一端。

8.根据权利要求7所述的对位装置，其特征在于，所述驱动件能够调节位置地设置于所述冷却板朝向所述玻璃基板的一侧表面。

9.根据权利要求7所述的对位装置，其特征在于，所述对位装置包括沿所述玻璃基板周向均匀分布的八个对位机构。

10.一种蒸镀设备，包括蒸镀腔体，其特征在于，还包括如权利要求1-9任一项所述的对位装置，所述对位装置设置于所述蒸镀腔体内。