[实用新型]一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装

权利要求书

1.一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装，其特征在于，包括树脂板(1)、晶托(2)和边数不少于五的多边形晶棒(3)，树脂板(1)与晶托(2)粘接，多边形晶棒(3)粘接于树脂板(1)的表面。

2.根据权利要求1所述的一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装，其特征在于，所述树脂板为平板状，多边形晶棒的一个面与树脂板粘接。

3.根据权利要求2所述的一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装，其特征在于，所述树脂板(1)的厚度为5-20mm，长度为600-700mm，宽度为100-150mm，晶托(2)粘胶表面长×宽为600×120mm、620×115mm或650×110mm。

4.根据权利要求3所述的一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装，其特征在于，所述晶棒(3)的形状为正六棱柱，边长尺寸为100-110mm。

5.根据权利要求1所述的一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装，其特征在于，所述树脂板与多边形晶棒粘接的面上设有V形槽，该V形槽两边的夹角的与多边形晶棒相邻两个面的夹角相同。

6.根据权利要求1所述的一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装，其特征在于，所述多边形晶棒的截面形状为正多边形，边数至少为五。

7.根据权利要求6所述的一种多边结构尺寸硅片的粘棒工装，其特征在于，所述多边形晶棒的截面形状为正五边形、正六边形和正八边形。