[实用新型]用于承载掩膜板的承载台、掩膜板、掩膜板固定组件

权利要求书

1.一种用于承载掩膜板的承载台，其特征在于，所述承载台上设置有能够与待承载掩膜板上第二固定结构相配合的第一固定结构，所述第一固定结构包括设置在所述承载台上能够与所述待承载掩膜板的边缘区域接触的多个支撑杆，通过所述第一固定结构与所述第二固定结构相配合，能够使得待承载掩膜板在第一状态和第二状态之间切换，

其中，第一状态下，所述待承载掩膜板与多个支撑杆中的第一支撑杆接触且绕所述第一支撑杆的轴线在水平面内旋转，在第二状态下，所述待承载掩膜板与多个支撑杆中的至少两个支撑杆接触且相对所述承载台固定。

2.根据权利要求1所述的用于承载掩膜板的承载台，其特征在于，所述第一固定结构包括对应于所述掩膜板四个边角设置于所述承载台上的四个支撑杆。

3.根据权利要求2所述的用于承载掩膜板的承载台，其特征在于，所述支撑杆与所述掩膜板接触的一端为球面结构。

4.根据权利要求2所述的用于承载掩膜板的承载台，其特征在于，还包括用于调整每个所述支撑杆高度以使得所述承载台上的掩膜板位于水平面的调整结构，所述调整结构包括可伸缩设置的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆和所述第二连接杆连接形成所述支撑杆的杆体。

5.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板上设有能够与用于承载掩膜板的承载台上的第一固定结构相配合的第二固定结构，所述第二固定结构包括设置于所述掩膜板面向所述承载台的一面的边缘区域的第一连接部，所述第一连接部能够与所述第一固定结构配合以使得所述掩膜板在水平面上旋转运动；

所述第二固定结构还包括设置于所述掩膜板面向所述承载台的一面的边缘区域的第二连接部，所述第二连接部能够与所述第一固定结构配合以使得所述掩膜板相对于所述承载台固定。

6.根据权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述第一连接部为设置于所述掩膜板第一边角的第一凹槽，所述第一凹槽的内表面与所述第一固定结构相配合以使得所述掩膜板在水平面上旋转运动的曲面结构。

7.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述第二连接部为设置于所述掩膜板第二边角的第二凹槽，该第二凹槽为一条形凹槽，条形凹槽的长度方向和第一方向相垂直，所述第一方向为与所述掩膜板的旋转反向相切的切线方向，所述第二边角与所述第一边角相邻或相对。

8.根据权利要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述第二凹槽在垂直于掩膜板的方向上的截面为梯形，且该梯形远离所述承载台的一边的长度小于梯形靠近所述承载台的一边的长度。

9.一种掩膜板固定组件，包括掩膜板和用于承载掩膜板的承载台，其特征在于，还包括相配合以将掩膜板限定于所述承载台上的预设区域的第一固定结构和第二固定结构；

所述第一固定结构包括设置于所述承载台上的、能够与所述掩膜板的边缘区域接触的多个支撑杆；

所述第二固定结构包括设置于所述掩膜板面向所述承载台的一面的边缘区域的第一连接部，所述第一连接部能够旋转的连接于多个所述支撑杆中的第一支撑杆上、以使得所述掩膜板在水平面上旋转运动；

所述第二固定结构还包括设置于所述掩膜板面向所述承载台的一面的边缘区域的第二连接部，所述第二连接部能够与多个所述支撑杆中的第二支撑杆卡接、以使得所述掩膜板固定。

10.根据权利要求9所述的掩膜板固定组件，其特征在于，所述第一固定结构包括对应于所述掩膜板四个边角设置于所述承载台上的四个支撑杆；

所述支撑杆与所述掩膜板接触的一端为球面结构；

所述第一连接部为设置于所述掩膜板第一边角的第一凹槽，该第一凹槽的内表面为与多个所述支撑杆中的第一支撑杆的球面结构相匹配的曲面结构；

所述第二连接部为设置于所述掩膜板第二边角的第二凹槽，该第二凹槽为一条形凹槽，条形凹槽的长度方向和第一方向相垂直，所述第一方向为与所述掩膜板的旋转反向相切的切线方向，所述第二边角与所述第一边角相邻或相对。

11.根据权利要求10所述的掩膜板固定组件，其特征在于，所述第二凹槽在垂直于掩膜板的方向上的截面为梯形，且该梯形远离所述承载台的一边的长度小于梯形靠近所述承载台的一边的长度。

12.根据权利要求10所述的掩膜板固定组件，其特征在于，还包括用于调整每个所述支撑杆高度以使得所述承载台上的掩膜板位于水平面的调整结构，所述调整结构包括可伸缩设置的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆和所述第二连接杆连接形成所述支撑杆的杆体。