[实用新型]太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，特别是涉及一种太阳能电池硅片抛光后的弯曲度和翘曲度检测装置。

背景技术

太阳能电池片的主要原材料是硅片，硅片作为半导体器件其表面晶格具有突然中止特性，在表面最外层的每个硅原子有未饱和的悬挂键，与之对应的电子能态称为表面态，对外界气氛极度敏感，能与光生载流子发生表面复合，降低p-n结对少数载流子的收集率，从而严重影响太阳能电池的稳定性、电流、电压和效率。

因此，在制作太阳能电池时，需要对原材料硅片进行背面钝化处理，通过饱和硅片表面的悬挂键，降低界面态密度，同时，钝化膜的存在也可以避免杂质在表层的引入，降低了表面活性，以降低少数载流子的表面复合速率，提高电池的使用寿命；另外，钝化膜在硅片表面形成表面结，减小表面复合的损失，提高了表面光生载流子的收集率，提高电池的长波效应。

在进行背面钝化处理前需要对硅片进行清洗抛光处理，由于硅抛光片在进行抛光前具有一定的弯曲度和翘曲度，如果弯曲度和翘曲度超过了规定的范围，在后续的工艺处理过程中需要对硅片进行翻转，由于表面不平整采用吸盘等吸附机构抓取硅片中，容易将硅片甩出，造成硅片的破碎，产生大量的硅片碎片，一方面造成原材料的严重浪费，另一方面严重影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：为了克服现有技术中的不足，本实用新型提供一种太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置。

本实用新型解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置，包括检测机构，用于太阳能电池硅片的弯曲度和翘曲检测；上料机构，用于抓取输送机构上的太阳能电池硅片放置在所述检测机构上；以及下料机构，用于将检测完成的太阳能电池硅片从检测机构上取走；

所述检测机构包括支架，以及设置在支架上的输送机构、提升机构和检测箱，所述输送机构用于承托待检测的太阳能电池硅片从上料机构一侧经过检测箱流转至下料机构一侧，所述提升机构包括下载板和设置在下载板底部的提升气缸，所述提升气缸带动所述下载板上下运动，所述下载板上方的输送机构上设有光电传感器，光电传感器用于检测是否有太阳能电池硅片运动到下载板上方，所述检测箱位于所述下载板的正上方，且所述检测箱为下端开口的柱形空箱，所述下载板的大小要至少能够盖住所述检测箱下端的开口，所述检测箱内部设有与所述下载板平行的图像扫描组件，所述图像扫描组件包括上盖板、扫描灯、反光罩、反光镜、CCD相机、图像处理系统、电脑主机和显示器，所述电脑主机上安装有与图像处理系统配套的图像处理软件，所述扫描灯位于所述上盖板与所述检测箱形成的成像室内，且位于所述上盖板的上方，所述扫描灯、反光罩、反光镜和CCD相机光学连接，所述CCD相机与所述图像处理系统、电脑主机和显示器线路连接。所述图像扫描组件用于太阳能电池硅片的扫描成像，上盖板为透明的玻璃材质，用于透过扫描灯的光线将被扫面的太阳能电池硅片成像。

进一步，所述上料机构和下料机构均采用三足吸盘。

进一步，为了保证操作的流畅性，避免卡住，所述下载板的轴截面为上小下大的等腰梯形，所述检测箱开口处的内壁为与所述下载板形状相同的等腰梯形。等腰梯形便于下载板在检测箱内的进出。

进一步，为了保证稳定性和降低零部件动作过程中的噪音，所述检测箱下端开口与所述下载板的接触面上沿周向设有密封缓冲层。密封缓冲层的高度H1要大于太阳能电池硅片的厚度H2。密封缓冲层一方面起到密封作用防止外界光线进入，影响图像成像效果，避免了图像边缘的模糊化，提高了检测的精度；另外，当下载板抬起时，下载板与检测箱下端开口的内壁会产生碰撞，容易造成检测箱内部的光学元件的损坏或者造成光路传递精度降低，因此，密封缓冲层可以有效降低下载板与检测箱撞击对光学系统的影响，进一步保证检测的精度；为了避免下载板和上盖板将太阳能电池硅片压碎，必须要保证二者之间的距离大于太阳能电池硅片的厚度H1，因此，密封缓冲层还起到限位定位的作用。

一种太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测方法，包括上述的太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置，还包括以下步骤：