[实用新型]一种氦质谱检漏仪的清氦系统

权利要求书

1.一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于：包括质谱室、分子泵、前级泵、第一至第五电磁阀、清氦电磁阀、检漏口、气源口，所述质谱室的出气口通过管路与分子泵的进气口连接，分子泵的排气口通过管路与前级泵的进气口连接，第二电磁阀安装在分子泵、前级泵之间的管路上，第二电磁阀与前级泵进气口之间还通过两支旁路管路分别与第一电磁阀、清氦电磁阀的一端连接，第二电磁阀与分子泵排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管，所述分子泵的中检口通过管路与第三电磁阀的一端连接，分子泵的精检口通过管路与第四电磁阀的一端连接，所述第一电磁阀的另一端通过公共管路分别与第三电磁阀、第四电磁阀的另一端连接，其中公共管路与第三电磁阀连接处还通过旁路管路与第五电磁阀的一端连接，所述检漏口通过旁路管路连接在公共管路与第四电磁阀连接处，所述检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的旁路管路上还连接有真空计，所述清氦电磁阀、第五电磁阀的另一端分别通过气管连接到气源口，气源口连接低压氮气源。

2.根据权利要求1所述的一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于：所述低压氮气源压力范围是0~0.005Mpa。

3.根据权利要求1所述的一种氦质谱检漏仪的清氦系统，其特征在于：所述清氦电磁阀的流量范围是0.03×（1±10%) l/s。