[实用新型]流量控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及流量控制技术领域，具体地，涉及一种流量控制系统。

背景技术

质量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)主要用于对气体或液体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生活中有着重要作用。

质量流量控制器由质量流量计、控制器、分离器通道、流量传感器和调节阀等部件组成，其不但具有流量计的功能，还能自动控制流体流量。

但是，目前的质量流量控制器需要另外配设流量显示仪以及用于控制质量流量控制器的流量控制系统，来实现流量的可视化和自动化，因此，设备的体型较大，自动处理能力较差，无法满足对设备小型化和智能化的要求。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种流量控制系统，其可以满足对设备小型化和智能化的要求。

为实现本实用新型的目的而提供一种流量控制系统，包括质量流量控制器、通讯单元和人机界面，其中，

所述通讯单元用于实现所述质量流量控制器和所述人机界面之间的信息传输；

所述人机界面用于显示来自所述质量流量控制器的显示信息，以及接收人工输入的设定信息，并将其发送至所述质量流量控制器；

所述质量流量控制器用于向所述人机界面发送所述显示信息；以及，根据来自所述人机界面的所述设定信息调节流体的质量流量，或者接通流路或断开流路。

优选的，所述质量流量控制器包括流量传感器、流量控制阀和控制单元，其中，

所述流量传感器用于检测流体的实时质量流量，并将其发送至所述控制单元；

所述流量控制阀用于调节流体的质量流量，或者接通流路或断开流路；

所述控制单元用于根据来自所述人机界面的所述设定信息控制所述流量控制阀的工作。

优选的，所述质量流量控制器的工作模式包括流量可调模式、流路关闭模式和流路清洗模式；

所述人机界面接收人工输入的关于所述质量流量控制器的工作模式的设定信息，并将其发送至所述控制单元；

所述控制单元根据该设定信息切换所述质量流量控制器的工作模式。

优选的，所述人机界面包括用于分别显示流体的实时质量流量、所述质量流量的满量程、当前的所述质量流量控制器的工作模式和当前的所述流量控制阀的工作模式的四个显示模块。

优选的，所述设定信息包括目标质量流量；

所述控制单元根据所述流体的实时质量流量和所述目标质量流量进行差计算，并根据计算结果控制所述流量控制阀调节流体的质量流量，以使所述流体的实时质量流量和所述目标质量流量一致。

优选的，所述控制单元包括模数转换模块、微处理器和数模转换模块，其中，

所述流量传感器检测流体的实时质量流量，并将所述实时质量流量的模拟信号发送至所述模数转换模块；

所述模数转换模块用于将所述实时质量流量的模拟信号转换为数字信号，并发送至所述微处理器；

所述微处理器用于根据所述实时质量流量和所述目标质量流量进行差计算，并根据该计算结果向所述数模转换模块发送关于控制所述流量控制阀的数字信号；

所述数模转换模块用于将所述关于控制所述流量控制阀的数字信号转换为模拟信号，并发送至所述流量控制阀；

所述流量控制阀根据该模拟信号节流体的质量流量。

优选的，所述流量控制系统还包括报警单元；

所述报警单元用于判断所述质量流量控制器是否出现工作异常情况，若是，则发出警报。

优选的，所述报警单元在判断所述质量流量控制器出现工作异常情况时，向所述人机界面发送警报显示信息；

所述人机界面包括用于显示所述警报显示信息的显示模块。

优选的，所述流量控制系统还包括定时单元；

所述人机界面接收来自人工输入的关于接通流路或断开流路的时间设定信息，并将其发送至所述设定单元；

所述定时单元根据所述时间设定信息进行计时，并在到达接通流路或断开流路的时间时，向所述质量流量控制器发送控制信号；

所述质量流量控制器根据该控制信号接通流路或断开流路。

优选的，所述通讯单元包括无线传输模块和/或有线传输模块。

本实用新型具有以下有益效果：