[实用新型]一种用于涂布机的防干燥装置

权利要求书

1.一种用于涂布机的防干燥装置，所述涂布机包括有用于涂布的涂头，其特征在于，所述防干燥装置包括：

防干燥容纳腔，用于容纳稀释剂，所述防干燥容纳腔包括有开口、底壁和侧壁，所述底壁和侧壁连接，所述开口和底壁分别位于所述侧壁两端，所述开口用于放置于所述涂头位置；

防干燥盖板，可滑动的设置在所述侧壁上，用于盖所述开口，所述防干燥盖板的宽度大于所述开口的最大宽度，所述防干燥盖板和侧壁之间设置有导向结构，所述导向结构控制所述防干燥盖板在所述侧壁上、且在所述开口所形成的平面范围内滑动，以控制所述开口大小。

2.根据权利要求1所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述防干燥盖板为两个，对称设置。

3.根据权利要求2所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述防干燥盖板设置有凹口，当两个所述防干燥盖板对合时，所述凹口适合所述涂头大小。

4.根据权利要求1所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述导向结构包括设置在所述防干燥盖板上的导向槽，和设置在所述侧壁上的导轨。

5.根据权利要求1所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述防干燥装置还包括用于驱动所述防干燥盖板的驱动马达。

6.根据权利要求1所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述防干燥容纳腔为圆台体结构或圆柱体结构。

7.根据权利要求1至6任一项所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述侧壁和底壁垂直。

8.根据权利要求1至6任一项所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述侧壁和底壁之间的夹角大于90度且小于180度。

9.根据权利要求1至6任一项所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述侧壁包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和底壁连接，且所述第一侧壁和底壁垂直；所述第一侧壁和第二侧壁连接，且所述第一侧壁和第二侧壁之间的夹角大于90度且小于180度。

10.根据权利要求9所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述涂布机用于涂布光阻，所述底壁的宽度为H1，两个所述防干燥盖板的距离H2等于H1除以c％，所述c％为光阻内稀释剂的摩尔百分比。