[实用新型]一种两源可控的SiO生产系统

权利要求书

1.一种两源可控的SiO生产系统，包括双坩埚感应加热部分和静电收集装置(3)，其特征在于：所述双坩埚感应加热部分设置在不锈钢真空腔体(5)内，双坩埚感应加热部分包括双坩埚和感应加热线圈(2)，所述双坩埚为两个独立的蒸镀坩埚，感应加热线圈(2)为两个，分别设置在蒸镀坩埚的外部，所述静电收集装置(3)包括收集管和收集杆(4)，所述收集管内设置成静电金属收集腔体，收集杆(4)设置在收集管内，所述收集杆(4)带水冷，收集管设置在不锈钢真空腔体(5)的上方并连通到不锈钢真空腔体(5)的内部，还包括电控柜(6)，所述电控柜(6)与感应加热线圈(2)连接。

2.根据权利要求1所述的两源可控的SiO生产系统，其特征在于：所述双坩埚设置在保温隔热器皿(1)中。

3.根据权利要求2所述的两源可控的SiO生产系统，其特征在于：所述收集杆(4)的顶部设置提拉装置(7)，提拉装置(7)可控制收集杆(4)旋转和升降，提拉装置(7)与电控柜(6)连接。

4.根据权利要求3所述的两源可控的SiO生产系统，其特征在于：所述提拉装置(7)为电机。

5.根据权利要求4所述的两源可控的SiO生产系统，其特征在于：所述双坩埚采用石墨或钼材质。