[实用新型]一种基于宏微结合的载物台

说明书

技术领域

本申请涉及光学显微镜技术领域，具体涉及一种基于宏微结合的载物台。

背景技术

随着光学显微镜的快速发展和广泛应用，现有的光学显微镜载物台不仅需要大的行程，达到几百毫米，还需要有非常高的精度，高到几个纳米。目前的显微镜载物台很难兼具这个要求。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种基于宏微结合的载物台，能解决现有载物台技术中面临的大行程与高精度不能同时具有的问题。

为了解决上述技术问题，本申请公开了一种基于宏微结合的载物台，包括微米载物台、安装在所述微米载物台上的纳米载物台。

其中，还包括用于将所述微米载物台和纳米载物台连接的转接板，所述转接板位于所述微米载物台上，所述纳米载物台安装在所述转接板上。

进一步地，所述转接板为一块中空平板。

进一步地，所述微米载物台包括提供驱动力的电机、提供导向力的导轨和铝合金机体。

进一步地，所述电机为直线步进电机、步进电机或压电陶瓷电机。

进一步地，所述导轨为交叉滚柱导轨或直线导轨。

进一步地，所述纳米载物台包括提供导向的柔性铰链机构、提供驱动力的压电陶瓷、用于反馈具体位移的传感器。

与现有技术相比，本申请可以获得包括以下技术效果：采用宏微结合的方式，用微米载物台实现几百毫米的大的行程，用纳米载物台实现几个纳米的高精度要求。把宏观的位移和微观的精确位移集成到一起，从而实现纳米级的精度和宏观几百毫米的位移兼具的使用需求。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的另一种组合的结构示意图。

其中：1.微米载物台；2.转接板；3.纳米载物台

具体实施方式

以下将配合附图及实施例来详细说明本申请的实施方式，

如图1所示，一种基于宏微结合的载物台，包括微米载物台1，用于实现载物台面在XY方向上微米级精度的步长运动，和安装在所述微米载物台1上的纳米载物台3，用于实现XY方向纳米级精度的步长运动。

在微米载物台1和纳米载物台3上相应位置设有相配合的连接孔，通过定位销和连接螺钉将两者固定连接。

其中，如图2所示，还包括转接板2，转接板2根据需要配置，用于将所述微米载物台1和纳米载物台3连接，所述转接板2位于所述微米载物台1上，所述纳米载物台3安装在所述转接板2上。

在转接板2上设有分别与所述微米载物台1和纳米载物台3相对应的连接孔，纳米载物台3与转接板2之间，微米载物台1与转接板2之间通过定位销和螺钉固定连接。

进一步地，所述转接板2为一块中空平板。

其中，所述微米载物台1包括提供驱动力的电机、提供导向力的导轨和铝合金机体，将XY两轴集成到一起，结构精巧，尺寸小、厚度薄、大负载、高精度、长寿命。

进一步地，所述电机为直线步进电机、步进电机或压电陶瓷电机。

进一步地，所述导轨为交叉滚柱导轨或直线导轨。

其中，所述纳米载物台3包括提供导向的柔性铰链机构、提供驱动力的压电陶瓷、用于反馈具体位移的传感器。其中，柔性铰链机构运动中无机械摩擦、无缝隙，运动灵敏度高，调整行程一般为几十到几百微米；压电陶瓷提供驱动力推动柔性铰链机构运动，高精度的传感器做反馈，以实现XY方向纳米级精度的步长运动。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。