[实用新型]X射线源装置

权利要求书

1.一种X射线源装置，其特征在于：

其包括三极式X射线源、真空腔、真空泵机组、阳极高压电源、栅极高压及脉冲驱动单元、真空环境监测单元和控制平台，并且

所述三极式X射线源设置于所述真空腔内，由阴极、栅极和阳极组成，并且所述阳极高压电源经所述真空腔的第一法兰连接至所述三极式X射线源的所述阳极，所述栅极高压及脉冲驱动单元经所述真空腔的第二法兰连接至所述三极式X射线源的所述栅极，所述三极式X射线源的所述阴极接地，所述真空环境监测单元经所述真空腔的第三法兰连接至所述真空腔，所述真空泵机组经所述真空腔的第四法兰连接至所述真空腔，所述控制平台经通讯线缆分别连接至所述阳极高压电源、所述真空环境监测单元和所述栅极高压及脉冲驱动单元。

2.根据权利要求1所述的X射线源装置，其特征在于：所述栅极高压及脉冲驱动单元包括栅极高压电源和脉冲驱动单元，且

所述脉冲驱动单元的第一端与所述真空腔连接，第二端与所述栅极高压电源连接，并且第三端与所述控制平台连接；

所述栅极高压电源的一端与所述脉冲驱动单元的第二端连接，而所述栅极高压电源的另一端与所述控制平台连接。

3.根据权利要求2所述的X射线源装置，其特征在于：所述阴极为生长在金属衬底上的碳纳米管，所述栅极为定制栅网，所述栅极与所述阴极之间的距离介于100μm和200μm之间，所述阳极采用具有一定倾角的钨靶，所述阳极与所述栅极之间的距离介于3厘米和8厘米之间；维持所述真空腔内的真空度介于10^-6Pa与10^-4Pa之间。

4.根据权利要求3所述的X射线源装置，其特征在于：所述栅极与所述阴极之间的距离为100μm，所述倾角介于10度和15度之间，所述真空度为10^-5Pa，所述阳极与所述栅极之间的距离为5厘米。

5.根据权利要求1所述的X射线源装置，其特征在于：所述脉冲驱动 单元包括低压脉冲驱动模块和高压切换模块；所述阴极经所述真空腔引出后接地。

6.根据权利要求1所述的X射线源装置，其特征在于：所述真空泵机组由前级机械泵和分子泵组成，以用于维持所述真空腔的真空环境。

7.根据权利要求1所述的X射线源装置，其特征在于：在所述阳极高压电源和所述三极式场发射电子源阳极之间串联有高压电阻，所述栅极高压及脉冲驱动单元和所述三极式场发射电子源栅极之间串联有高压电阻。

8.根据权利要求7所述的X射线源装置，其特征在于：所述高压电阻为玻璃釉棒状高压电阻器。

9.根据权利要求7所述的X射线源装置，其特征在于：所述真空环境监测单元包括真空计和真空电离规管，所述真空电离规管的测量端经所述第三法兰嵌入所述真空腔中，引出的电极端连接所述真空计。

10.根据权利要求1所述的X射线源装置，其特征在于：所述控制平台与所述阳极高压电源、所述栅极高压及脉冲驱动单元、以及真空检测单元进行通讯连接，并且所述控制平台采用LabVIEW上位机软件进行集成控制。