[实用新型]一种带有冷却装置的真空镀膜腔体

权利要求书

1.一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，包括真空腔体，其特征在于，还包括：冷却装置；所述冷却装置安装于所述真空腔体内部；所述冷却装置包括上部水冷装置、中部水冷装置和下部水冷装置；所述上部水冷装置紧贴所述真空腔体的上壁；所述中部水冷装置凌空架设在所述真空腔体左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述下部水冷装置紧贴所述真空腔体的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布。

2.根据权利要求1所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述上部水冷装置包括第一冷却水管、第一水管压块和第一导热板；所述第一冷却水管紧贴所述真空腔体的上壁，且所述第一冷却水管呈蛇形分布；所述第一水管压块为多个，多个所述第一水管压块从下往上压住所述第一冷却水管；每个所述第一水管压块均通过螺钉与所述真空腔体的上壁固定连接；所述第一导热板通过螺钉与每个所述第一水管压块的下表面固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述真空腔体的上壁上设置有第一进水通孔和第一出水通孔；所述第一冷却水管的两端分别为第一进水端与第一出水端；所述第一进水端穿过所述第一进水通孔与外界冷却水源相连；所述第一出水端穿过所述第一出水通孔与外界出水管相连。

4.根据权利要求3所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述第一进水端通过密封装置与所述第一进水通孔密封连接，所述第一出水端通过密封装置与所述第一出水通孔密封连接。

5.根据权利要求1所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述真空腔体内设置有一支架，所述支架将所述中部水冷装置支撑在所述真空腔体的空间内；所述中部水冷装置包括第二冷却水管、第二水管压块和第二导热板；所述第二冷却水管为多个，多个所述第二冷却水管水平排列在同一水平面上，架设在所述真空腔体的左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述第二水管压块从上向下压住所述第二冷却水管；每个所述第二冷却水管上的所述第二水管压块均为多个；每个所述第二水管压块均通过螺钉与所述支架固定连接；所述第二导热板通过螺钉与每个所述第二水管压块的上表面固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述第二冷却水管的两端分别为第二进水端和第二出水端；所述第二进水端穿过第二进水通孔与外界冷却水源相连；所述第二出水端穿过第二出水通孔与外界出水管相连；所述第二进水通孔和所述第二出水通孔均设置在所述真空腔体的侧壁上。

7.根据权利要求6所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述第二进水端通过密封装置与所述第二进水通孔密封连接，所述第二出水端通过密封装置与所述第二出水通孔密封连接。

8.根据权利要求1所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述下部水冷装置包括第三冷却水管、第三水管压块和第三导热板；所述第三冷却水管、所述第三水管压块和所述第三导热板依次从外向里设置；所述第三冷却水管紧贴所述真空腔体的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布；所述第三水管压块为多个，多个所述第三水管压块通过螺钉与所述真空腔体的侧壁固定连接，将所述第三冷却水管压在所述侧壁上；所述第三导热板通过螺钉与每个所述第三水管压块固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述第三冷却水管的两端分别为第三进水端和第三出水端；所述第三进水端穿过第三进水通孔与外界冷却水源相连；所述第三出水端穿过第三出水通孔与外界出水管相连；所述第三进水通孔和所述第三出水通孔均设置在所述真空腔体的侧壁上。

10.根据权利要求9所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述第三进水端通过密封装置与所述第三进水通孔密封连接，所述第三出水端通过密封装置与所述第三出水通孔密封连接。