[实用新型]一种用于真空互联扫描电镜样品托

权利要求书

1.一种用于真空互联扫描电镜样品托，其特征在于：所述的一种用于真空互联扫描电镜的样品托具有三层结构，顶层是样品夹持层，中间层是弹簧预应力施加层，底层是样品托安装接口；顶层样品夹持层相对于底层样品托安装接口，在施加外力克服了中间层预加弹簧应力引发的摩擦力后，可以做相对旋转运动；在没有外力作用下，样品托顶层与底层在中间层弹簧预应力引发的摩擦力作用下形成一个整体，随被安装的扫面电镜观察台移动、旋转。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空互联扫描电镜样品托，其特征在于：所述的顶层样品夹持层是由优选圆柱形结构的样品托盘(5)、至少2个等距分布的样品压紧弹簧(3)、与样品压紧弹簧(3)数量相对应的径向推杆(2)、与径向推杆(2)数量相对应的径向推杆固定座(4)、中心旋转凸轮(1)、轴承(7)以及优选圆形结构的样品托盘连接座(6)，通过螺丝(11)锁紧构成；压紧弹簧(3)通过螺丝(10)固定到径向推杆(2)在样品托盘(5)的样品承载面(5-2)的一端上，压紧弹簧(3)根据样品压紧力的需要可以独立调节。

3.根据权利要求1和权力要求2所述的一种用于真空互联扫描电镜样品托，其特征在于：所述的样品托盘(5)上除具有样品承载面(5-2)外，还具有与径向推杆(2)的径向导轨(2-1)结构相配的径向导槽(5-1)，以及样品托固定卡位(5-3)；径向推杆(2)通过样品托盘(5)上的径向导槽(5-1)，插入径向推杆固定座(4)的过孔(4-1)，中间安装有回位弹簧(2-2)，用螺丝(11)将径向推杆固定座(4)连接到样品托盘(5)上；用螺丝(10)连接到径向推杆(2)上的样品压紧弹簧(3)随径向推杆(2)在样品托盘(5)的样品承载面(5-2)上做径向运动。

4.根据权利要求1和权力要求2所述的一种用于真空互联扫描电镜样品托，其特征在于：所述的中心旋转凸轮(1)是用中心轴通过轴承(7)固定到品托盘连接座(6)上，相对于同样固定到样品托盘连接座(6)上的样品托盘(5)可以做旋转运动；中心旋转凸轮(1)的中心轴通过中间弹簧预应力施加层，优选波形弹簧(8)，与底层样品托安装接口(9)的中心孔(9-1)的上部过盈配合，使真空互联扫描电镜样品托的上、中、下三层连成一体。

5.根据权利要求1、权力要求2和权力要求4所述的一种用于真空互联扫描电镜样品托，其特征在于：所述的中心旋转凸轮(1)具有连续光滑过渡、间隔分布的凸出点和凹入点，凸出点与凹入点的数目相同，与径向推杆(2)在样品托盘(5)上的分布数相配，并与径向推杆(2)的顶端接触；径向推杆(2)的顶端在中心旋转凸轮(1)的凹入点时，在回位弹簧(2-2)的作用下样品压紧弹簧(3)卡入样品托盘(5)的样品承载面(5-2)上，可以压紧样品；径向推杆(2)的顶端在中心旋转凸轮(1)的凸出点时，凸轮(1)延样品托盘(5)的径向顶开径向推杆(2)，将样品压紧弹簧(3)顶离样品托盘(5)的样品承载面(5-2)，为样品装载提供空间。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空互联扫描电镜样品托，其特征在于：所述的中间层是弹簧预应力施加层，可以是波形弹簧(8)，也可以是均匀分布在样品托盘连接座(6)上的小弹簧顶滚珠结构，优选波形弹簧(8)结构；进一步讲中间弹簧预应力施加层，是在样品托顶层边缘固定卡位(5-3)没有外力作用时，利用弹簧预应力产生的摩擦力将样品托顶层样品夹持层和底层样品托安装接口(9)保持一体，不产生相对转动；当施加一个外力在固定卡位(5-3)上卡住样品托顶层时，转动底层样品托安装接口(9)，克服弹簧预应力产生的摩擦力，可以带动中心旋转凸轮(1)相对样品托盘(5)旋转。

7.根据权利要求1所述的一种用于真空互联扫描电镜样品托，其特征在于：所述的底层是一个根据所用扫描电镜原位旋转电机轴设计的样品托安装接口(9)，样品托安装接口(9)通过中间安装孔(9-1)上部分与中心旋转凸轮(1)的中心轴过盈配合，连成一体，可以带动中心旋转凸轮(1)相对于样品托盘(5)旋转。

8.根据权利要求1所述的一种用于真空互联扫描电镜样品托，其特征在于：所述的一种用于真空互联扫描电镜的样品托上、中、下三层结构中部件中没有电气元件，克服电气元件在真空中散发污染源的不足。