[实用新型]流量计组件和流量计控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及流量计技术领域，具体涉及一种流量计组件和一种流量计控制系统。

背景技术

传统的，气体质量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)，是用于对气体的质量流量进行精密控制和测量的一种元件。它广泛应用于集成电路、光伏太阳能、真空、电子工艺设备，例如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反映装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。随着现代科技的不断发展，特别是通讯技术的使用，很多新的行业都使用气体质量流量控制器作为气体控制的装置，个别行业对气体的精确化要求使得气体质量流量控制器更是成为核心的零部件。因此气体质量流量控制器对不同行业的适应性是质量流量控制器的发展方向。

随着气体质量流量控制器的广泛应用，气体质量流量控制器的各种应用也在不断的拓展，尤其在核工业等危险气体使用行业上也逐渐应用，在一台或多台应用过程中，质量流量控制器安装上之后即无法近距离调试或多台联调，并且客户也无法自行改变相关参数。因此产生了一定程度的浪费。

具体地，现有的质量流量控制器，如图1所示，包括流量计110、气源400、控制单元120、电源单元150和本地终端300。

但是，上述质量流量控制器，调试方法为有线连接，即将流量计110通过RS485通讯线与本地终端300，一般为PC机进行连接，对客户的需要进行相应的调整。并且调试线的长度有限，不可远距离调试。需要技术人员去现场查看客户使用状态以便进行现场调试。由于RS485的通讯线使用长度有限，过长会对产品造成较大干扰，影响产品装置的精度。

另外，如果气源中有辐射性或其他有害性物质，则为了人身安全，无法近距离完成调试或管理等。

其次，生产该流量计110的制造厂家，需要技术工程师进行频繁出差调试，浪费人力物力。

因此，如何设计出一种能够远程调试和管理的流量计组件成为本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在不能远程调试或远程控制的流量计，提出了一种流量计组件和一种流量计控制系统。

为了实现上述目的，本实用新型的第一方面，提供了一种流量计组件，所述流量计组件包括流量计和控制单元，所述流量计设置有控制接口，所述控制单元设置有输入接口，所述流量计的控制接口与所述控制单元的输入接口电连接，所述控制单元还设置有第一输出接口，所述流量计组件还包括云处理单元，所述云处理单元设置有输入接口，所述云处理单元的输入接口与所述控制单元的第一输出接口电连接，所述控制单元能够通过所述输入接口获取所述流量计的参数信息，并将所述参数信息通过所述第一输出接口发送至所述云处理单元的输入接口，所述云处理单元通过所述输入接口接收所述流量计的参数信息，并将所述流量计的参数信息发送至远程终端，以通过所述远程终端调节所述流量计。

优选地，所述云处理单元包括云服务适配器。

优选地，所述控制单元还包括第二输出接口，所述第二输出接口用于与本地终端电连接，以通过所述本地终端调节所述流量计。

优选地，所述流量计还设置有进气口，所述进气口用于与气源连通。

优选地，所述流量计组件还包括罩设在所述云处理单元外侧的屏蔽罩，所述屏蔽罩由金属材料制成。

优选地，所述流量计组件还包括电源单元，所述电源单元与所述流量计电连接，以为所述流量计供电。

优选地，所述远程终端包括电脑、手机或平板。

优选地，所述流量计包括气体质量流量控制器。

本实用新型的第二方面，提供了一种流量计控制系统，所述流量计控制系统包括流量计组件，所述流量计组件采用前文记载的所述流量计组件。

优选地，所述流量计控制系统还包括远程终端，所述远程终端与所述云处理单元通信连接。

本实用新型的流量计组件，控制单元能够实时获取或者根据用户请求获取流量计的参数信息，并将该信息发送至云处理单元，该云处理单元接收参数信息，并且将该参数信息发送至远程终端，该远程终端接收参数信息，以供用户查看当前流量计的参数信息，如果用户需要改变当前的参数信息，用户通过远程终端发出请求，该请求通过云处理单元发送至控制单元，控制单元接收该请求并控制流量计，以执行所述请求。因此，能够实现远程控制，降低流量计的制作成本，还可以降低安全隐患，提高流量计的运行效率。