[实用新型]一种离子源发生装置

权利要求书

1.一种离子源发生装置，其特征在于：所述离子源发生装置包括电弧套(1)、两根灯丝(2)、电弧环(3)、外挡罩(4)和内挡罩(5)，所述外挡罩(4)套设在所述电弧套(1)的外部，所述内挡罩(5)收容在所述电弧套(1)的内部，两根所述灯丝(2)设置在所述内挡罩(5)的内部，所述电弧环(3)搭接在两根所述灯丝(2)上方，所述外挡罩(4)与所述内挡罩(5)均呈卷曲形成的筒状结构，且所述外挡罩(4)与所述内挡罩(5)均由弹性材料制成。

2.如权利要求1所述的一种离子源发生装置，其特征在于：所述外挡罩(4)、所述内挡罩(5)均由316不锈钢材料制成。

3.如权利要求1所述的一种离子源发生装置，其特征在于：所述外挡罩(4)的内壁与所述电弧套(1)的外壁相贴合，所述内挡罩(5)的外壁与所述电弧套(1)的内壁相贴合。

4.如权利要求1所述的一种离子源发生装置，其特征在于：所述电弧套(1)的材质为石墨。

5.如权利要求1所述的一种离子源发生装置，其特征在于：每根所述灯丝(2)的两端弯折设置，每根所述灯丝(2)的中部设置成弧状结构，两根所述灯丝(2)上的弧状结构相对设置。

6.如权利要求5所述的一种离子源发生装置，其特征在于：所述电弧环(3)上设有两个相对设置的支架(31)，所述支架(31)搭接在所述灯丝(2)的弧状结构上。