[实用新型]一种扩散炉激光检测装置有效
申请号: | 201720443429.7 | 申请日: | 2017-04-25 |
公开(公告)号: | CN206803955U | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 钱力 | 申请(专利权)人: | 苏州同冠微电子有限公司 |
主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)11489 | 代理人: | 曹军 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 激光 检测 装置 | ||
1.一种扩散炉激光检测装置,用于检测扩散炉(4),其特征在于:所述扩散炉激光检测装置包括连接于扩散炉(4)一端的第一验证组件(1)、连接于扩散炉(4)另一端的第二验证组件(2)和连接于所述第二验证组件(2)上的激光源(3),所述第二验证组件(2)包括安装在扩散炉(4)一端的连接件(21)、可转动的连接在所述连接件(21)上的调节杆(22)和可沿所述调节杆(22)移动且套设在所述调节杆(22)上的隔套(23),所述激光源(3)设置在所述隔套(22)上,所述第一验证组件(1)包括第一校验板(11),所述第一校验板(11)的中心处设有第一校验标记(111),调节所述激光源(3),使激光源(3)通过扩散炉(4)的进气管(41)的中心射在所述第一校验板(11)上。
2.如权利要求1所述的一种扩散炉激光检测装置,其特征在于:所述隔套(23)的截面为多边形。
3.如权利要求2所述的一种扩散炉激光检测装置,其特征在于:所述隔套(23)上设有卡扣(231),所述隔套(23)通过所述卡扣(231)与所述调节杆(22)固定连接。
4.如权利要求1所述的一种扩散炉激光检测装置,其特征在于:所述调节杆(22)的一端铰接于所述连接件(21)上,所述调节杆(22)与所述连接件(21)相贴合。
5.如权利要求1所述的一种扩散炉激光检测装置,其特征在于:所述连接件(21)呈喇叭状结构,所述连接件(21)的中心处沿所述连接件(21)的轴向设置有安装孔(211),所述连接件(21)的大口端凹设形成有凹槽(212),所述安装孔(211)与所述凹槽(212)相连通。
6.如权利要求1所述的一种扩散炉激光检测装置,其特征在于:所述第一校验标记(111)设置成通孔。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州同冠微电子有限公司,未经苏州同冠微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720443429.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。