[实用新型]一种卧式炉管进出舟系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备，特别涉及一种卧式炉管进出舟系统。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，其主要作用是对半导体进行掺杂。一般的扩散炉具有推舟机构、碳化硅桨、炉管等部件，碳化硅桨在推舟机构的作用下将硅晶片送入炉管中进行热扩散工艺处理，现有的扩散炉在输送的过程中常常出现碳化硅桨定位不准确等情况，导致碳化硅桨未正确闭合，硅片未能到正常工艺位置，影响硅片参数，或者超过极限位置，导致设备故障。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种卧式炉管进出舟系统，利用感应机构定位碳化硅桨的输送位置。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种卧式炉管进出舟系统，包括设置在炉管一侧的碳化硅桨组件，设置在碳化硅桨组件一侧的连动杆，及设置在连动杆一侧的感应机构，所述碳化硅桨组件包括碳化硅桨及夹桨座，所述碳化硅桨能够在推舟机构的推动下朝炉管方向运行，所述连动杆在靠近炉管处固定设置有挡板，所述挡板位于连动杆靠近碳化硅桨的一侧，所述感应机构与所述推舟机构电连接，所述夹桨座移动能够抵持在挡板上，并带动连动杆触发感应机构。

进一步地，所述感应机构设置在连动杆一侧远离炉管的一端。

进一步地，所述感应机构为光电传感器。

进一步地，所述感应机构包括有第一传感器，及设置在第一传感器一侧的第一挡片，所述第一挡片通过连接杆固定设置在连动杆上，所述第一传感器与所述推舟机构电连接，所述连动杆移动能够带动第一挡片触发第一传感器。

进一步地，所述感应机构还包括第二传感器，及设置在第二传感器一侧的第二挡片，所述第二传感器与报警装置电连接，所述第一挡片相对于第一传感器的距离大于第二挡片相对于第二传感器的距离。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：本实用新型所述的一种卧式炉管进出舟系统，利用感应机构定位碳化硅桨的输送位置，使得碳化硅桨能够准确的将硅片送至正常工艺位置，保证了产品质量。

附图说明

图1示出了本实用新型所述一种卧式炉管进出舟系统的示意图。

其中，1为炉管，2为碳化硅桨组件，21为碳化硅桨，22为夹桨座，3为连动杆，31为弹性件，32为挡板，4为感应组件，41为第一传感器，42为第二传感器，43为第一挡片，44为第二挡片，45为连接杆，46为报警装置。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型所述的一种卧式炉管进出舟系统，包括设置在炉管1一侧的碳化硅桨组件2，平行设置在碳化硅桨组件2一侧的连动杆3，及设置在连动杆3一侧的感应机构4。所述碳化硅桨组件2包括碳化硅桨21，及设置在碳化硅桨21远离炉管1一端用于夹持碳化硅桨21的夹桨座22，所述碳化硅桨21能够在推舟机构(图未示)的推动下朝炉管1方向运行。所述连动杆3的两端通过弹性件31设置在碳化硅桨21一侧，使得连动杆3能够水平运动。所述连动杆3在靠近炉管1处固定设置有挡板32，所述挡板32位于连动杆3靠近碳化硅桨21的一侧，所述挡板32距离碳化硅桨21的最小距离小于夹桨座22距离连动杆3的最小距离。所述碳化硅桨组件2朝向炉管1移动时，所述夹桨座22能够抵持在挡板32上，并带动连动杆3移动。

所述感应机构4包括有第一传感器41，第二传感器42，及分别设置在第一传感器41与第二传感器42一侧的第一挡片43及第二挡片44，所述第一挡片43与第二挡片44远离第一传感器41及第二传感器42的一端通过连接杆45固定设置在连动杆3上。所述第一传感器41与所述推舟机构电连接，所述第二传感器42与报警装置46电连接，所述第一挡片43相对于第一传感器41的距离大于第二挡片44相对于第二传感器42的距离。本实施例中，所述第一传感器41及第二传感器42均为光电传感器，具有反应灵敏快速的优点，且对碳化硅桨21不产生机械接触。

工作时，所述推舟机构推动碳化硅桨21向炉管1内运行，当碳化硅桨21运行至预定位置附近时，夹桨座22抵持在挡板32上，带动连动杆3及连接杆45移动，连接杆45带动第一挡片43与第二挡片44向第一传感器41及第二传感器42移动；当碳化硅桨21到达设定位置时，第一挡片43触发第一传感器41，第一传感器41控制所述推舟机构停止运行；此时，若碳化硅桨21的速度过快，或者第一传感器41失效，导致碳化硅桨21过冲，第二挡片44会触发第二传感器42，所述第二传感器42控制报警装置46工作，提醒工作人员进行维修。