[实用新型]单晶硅棒头尾取片装置

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅机械加工技术领域，具体涉及一种单晶硅棒头尾取片装置。

背景技术

硅棒在拉制完成后需要利用切割装置进行切片处理，现有的金刚线切断机在切完晶棒后，要在硅棒头部和尾部位置切割单晶硅片，将其取下作为氧碳测试片去进行检测，而由于所切割的作为氧碳测试片的硅片表面积大、厚度薄，现有的技术条件下装夹后切割时非常容易造成氧碳测试片破损。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒头尾取片装置，解决了现有的单晶硅棒头部和尾部装夹切割时容易破损的问题。

本实用新型所采用的技术方案是：单晶硅棒头尾取片装置，包括相连的吸盘和抽气组件，利用抽气组件在吸盘表面形成负压，从而吸附氧碳测试片。

本实用新型的特点还在于，

抽气组件为真空泵。

还包括用于控制所述抽气组件工作的控制开关。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的单晶硅棒头尾取片装置解决了现有的单晶硅棒头部和尾部装夹切割时容易破损的问题。本实用新型的单晶硅棒头尾取片装置利用抽气装置在吸盘表面形成负压，从而利用气压将氧碳测试片吸附在吸盘上，实现氧碳测试片的安全切割及取片工作。

附图说明

图1是本实用新型的单晶硅棒头尾取片装置的结构示意图。

图中，1.吸盘，2.抽气装置，3.控制开关。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型提供的单晶硅棒头尾取片装置的结构如图1所示，包括相连的吸盘1和抽气组件2，利用抽气组件2在吸盘1表面形成负压，从而吸附氧碳测试片。事例性的，抽气组件2可以为真空泵。

还包括用于控制抽气组件2工作的控制开关3。

使用时，可以将本实用新型的单晶硅棒头尾取片装置固定在带锯切断机上，也可以将其单独固定。将金刚线切断机切下来的单晶硅棒的头部和尾部放置在吸盘位置，打开控制开关3，利用抽气组件2在吸盘1表面形成负压将单晶硅棒的头部或尾部吸附在吸盘1上，根据所取氧碳检测片的厚度利用带锯切断机对刀，开切；切割完毕后，先将带锯退出，停锯，然后关闭控制开关3，吸盘1上的吸附力消除，将氧碳检测片从机台上取出来送去检测，即完成单晶硅棒头尾硅片的取片工作。