[实用新型]一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风有效
申请号: | 201720449431.5 | 申请日: | 2017-04-26 |
公开(公告)号: | CN206908856U | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 邱冠勳;蔡孟锦;詹竣凱;周宗燐;李俊;李江龙 | 申请(专利权)人: | 歌尔科技有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R7/12 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人: | 王昭智,马佑平 |
地址: | 266104 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
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1.一种MEMS麦克风中的振膜,其特征在于:包括振膜主体,在所述振膜主体上设置有至少两个分布在不同周向方向上的泄压部,每个所述泄压部呈环状,且所述至少两个泄压部中,位于外侧的泄压部的泄压能力小于位于内侧的泄压部。
2.根据权利要求1所述的振膜,其特征在于:所述泄压部设置有两个,分别记为位于外侧的第一泄压部,以及位于内侧的第二泄压部;所述第一泄压部为多个均匀分布在振膜主体第一圆周方向上的第一泄压装置;所述第二泄压部为多个均匀分布在振膜主体第二圆周方向上的第二泄压装置。
3.根据权利要求2所述的振膜,其特征在于:所述多个第二泄压装置的密度和/或尺寸大于多个第一泄压装置的密度和/或尺寸。
4.根据权利要求3所述的振膜,其特征在于:所述第一泄压装置、第二泄压装置为泄压孔和/或泄压阀。
5.根据权利要求4所述的振膜,其特征在于:所述泄压阀由缝隙限定,所述缝隙包括依次承接在一起的至少两段圆弧状缝隙,其中,相邻两段圆弧状缝隙整体呈S形,且相对于其连接的位置呈中心对称,所述泄压阀包括由至少两段相邻的圆弧状缝隙形成的至少两个阀瓣,以及连接阀瓣与振膜主体且呈束缚状的颈部。
6.根据权利要求5所述的振膜,其特征在于:所述圆弧状缝隙设置有两段,分别记为第一缝隙、第二缝隙,所述第一缝隙、第二缝隙共同在振膜主体上形成了第一阀瓣、第二阀瓣,以及连接第一阀瓣与振膜主体的第一颈部,连接第二阀瓣与振膜主体的第二颈部。
7.根据权利要求4所述的振膜,其特征在于:所述泄压阀由缝隙限定,所述缝隙包括多个从圆心位置向外辐射的辐射段,以及位于辐射段端头并分别迂回弯向辐射段两侧的圆弧段;所述泄压装置包括由相邻两个辐射段以及该两个辐射段端头相邻两个圆弧段围成的阀瓣,以及位于该两个圆弧段之间的呈束缚状的颈部,所述阀瓣与振膜主体通过颈部连接在一起。
8.根据权利要求7所述的振膜,其特征在于:所述辐射段至少设置有三个,均匀分布在圆周方向上。
9.根据权利要求2所述的振膜,其特征在于:还包括第三泄压装置,所述第三泄压装置设置有一个,设置在振膜主体的圆心位置。
10.一种MEMS麦克风,其特征在于:包括背极以及根据权利要求1-9任一项所述的振膜。
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