[实用新型]银蒸发用坩埚有效
| 申请号： | 201720452871.6 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN206787286U | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 游佩武;裘立强;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州杰利半导体有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/00 | 分类号： | F27B14/00;F27B14/10 |
| 代理公司： | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙)32283 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 225008 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.银蒸发用坩埚，包括内部为空腔结构的铜质坩埚本体，空腔中连通流动的冷却液，所述坩埚本体上表面开设若干凹槽状的铜坩埚，其特征在于，所述铜坩埚内设有与铜坩埚适配的钼坩埚。
2.根据权利要求1所述的银蒸发用坩埚，其特征在于，所述钼坩埚的埚口固定设有连接在所述坩埚本体上的连接盘。
3.根据权利要求2所述的银蒸发用坩埚，其特征在于，所述连接盘与所述坩埚本体的连接结构为：所述连接盘底部设有若干凸起的卡扣一，所述坩埚本体上、铜坩埚周围设有与卡扣一适配的凹槽。
4.根据权利要求2所述的银蒸发用坩埚，其特征在于，所述连接盘与所述坩埚本体的连接结构为：所述连接盘底部或侧面设有若干T型卡扣；
所述坩埚本体上、铜坩埚周围设有与所述T型卡扣适配的T型环槽，所述T型环槽的内壁设有若干与所述T型卡扣适配的开口。
5.根据权利要求1所述的银蒸发用坩埚，其特征在于，所述铜坩埚和钼坩埚之间设有弹性导热材料。
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