[实用新型]一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，属于半导体制造技术领域。

背景技术

彩色光刻胶是彩色显示屏工艺制备的重要材料，彩色光刻胶储存周期短、对光敏感、易燃有毒，需避光低温保存。目前，用于彩色过滤层制备的涂胶机中多采用管道输送彩色光刻胶至喷头处进行涂胶的方式经行大规模的工艺生产，喷嘴及管道中的彩色光刻胶因长时间残留容易凝结、感光变质造成彩色光刻胶的污染。此外，管道中的微小气泡和颗粒物也将影响彩色过滤层制备过程的涂胶质量，显影后表面呈现出放射状条纹、针孔、气泡等现象，影响了涂胶产品的良品率。

发明内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，设计了一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置。

本实用新型一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，其特征在于该装置包括双轴线性模组装置和滴管装置；双轴线性模组装置由水平驱动线性模组和垂直驱动线性模组构成，垂直驱动线性模组与水平驱动线性模组的滑块一固定连接，滴管装置与垂直驱动线性模组的滑块二固定连接；所述滴管装置由塑料滴管和滴管腔室构成；塑料滴管位于滴管腔室正下方，塑料滴管管口与滴管腔室管口承插连接。

所述的水平驱动线性模组由第一步进电机、第一皮带、第一滑块、第一直线滑轨和第一直线滑轨两侧的第一支撑座构成，第一滑块与第一直线滑轨活动连接，第一直线滑轨两侧与第一支撑座固定连接，第一滑轨底板两侧固定安装有第一步进电机和第一带轮，第一皮带与第一带轮活动连接，第一皮带一端与第一滑块固定连接；所述垂直驱动线性模组由第二步进电机、第二皮带、第二滑块、第二直线滑轨和第二直线滑轨两侧的第二支撑座构成，第二滑块与第二直线滑轨活动连接，第二直线滑轨两侧与第二支撑座固定连接，第二滑轨底板两侧固定安装有第二步进电机和第二带轮，第二皮带与第二带轮活动连接，第二皮带一端与第二滑块固定连接。

所述滴管腔室由涂胶控制腔室、滴管更换腔室和滴管腔室外壳构成；涂胶控制腔室位于滴管腔室上半部分，滴管更换腔室位于滴管腔室下半部分，涂胶控制腔室和滴管更换腔室均设置在滴管腔室外壳内；所述涂胶控制腔室由第一活动铁芯、推杆、活塞、第一吸引线圈、第一回位弹簧构成；第一活动铁芯位于涂胶控制腔室内顶侧，第一活动铁芯底面与推杆上端固定连接，推杆下端连接活塞，推杆周围、滴管腔室内壁面固定安装有第一吸引线圈，活塞下方设置有第一回位弹簧；所述滴管更换腔室由第二活动铁芯、第二吸引线圈、第二回位弹簧构成；第二活动铁芯位于涂胶控制腔室内顶侧，第二活动铁芯下方设置有第二回位弹簧，第二回位弹簧下方、滴管腔室内壁面固定安装有第二吸引线圈。

最佳的，所述的彩色过滤层制备的工艺涂胶装置还包括控制单元，控制单元通过悬杆与滴管腔室外壳固定连接，由颜色传感器和控制单元构成；颜色传感器信号采集方向面向塑料滴管。

本发明的工作原理为：该装置具有检测滴管所处状态、水平移动滴管装置、垂直移动滴管装置、装载塑料滴管、卸载塑料滴管、自动取胶和自动涂胶等功能。

滴管所处状态检测：涂胶前需对滴管所处状态进行检测，为后续步骤提供依据。颜色传感器发射测试光，经彩色光刻胶液面反射后被颜色传感器接受，通过对反射光波信号处理、分析得出塑料滴管所处状态，包括：（1）滴管装置是否安装有塑料滴管；（2）塑料滴管是否曾被使用过；（3）使用过的塑料滴管残存的彩色光刻胶颜色。

水平移动滴管装置：水平移动滴管装置由水平驱动线性模组操作完成，当第一步进电机控制开关正向闭合时，第一步进电机驱动带轮正向旋转，第一皮带带动第一滑块沿第一直线滑轨水平向右移动；当第一步进电机控制开关反向闭合时，第一步进电机驱动带轮反向旋转，第一皮带带动第一滑块沿第一直线滑轨水平向左移动；根据步进尺寸完成滴管装置水平方向的位移。

垂直移动滴管装置：垂直移动滴管装置由垂直驱动线性模组操作完成，当第二步进电机控制开关正向闭合时，第二步进电机驱动带轮正向旋转，第二皮带带动第二滑块沿第二直线滑轨垂直向下移动；当第二步进电机控制开关反向闭合时，第二步进电机驱动带轮反向旋转，第二皮带带动第二滑块沿第二直线滑轨垂直向上移动；根据步进尺寸完成滴管装置垂直方向的位移。