[实用新型]基于亚波长光栅的定向耦合型TM起偏分束器

权利要求书

1.一种基于亚波长光栅的定向耦合型TM起偏分束器，其特征在于：在一个非对称定向耦合器上引入亚波长光栅，其中一根有亚波长光栅的波导为通道一，另一根无亚波长光栅的波导为通道二；所述的非对称定向耦合器的通道一和通道二由两根不对称的波导组成，所述波导为绝缘衬底SiO₂底板上的Si条，其中通道一为直线形波导，通道二的波导包括依次连接的输入直线段、弧形过渡段、耦合直线段、弧形过渡段和输出直线段；与通道二耦合直线段对应平行的通道一耦合段波导上等距离刻有若干平行的矩形槽，形成亚波长光栅，等距离刻有若干平行矩形槽的通道一耦合段与通道二的耦合直线段构成亚波长光栅区域；所述的通道一波导高220nm，宽480nm，耦合段长10-20µm；耦合段等距离刻有的矩形槽高160-200nm，宽300-500nm，槽与槽间的距离为100-300nm，矩形槽与通道一波导条垂直。

2.根据权利要求1所述基于亚波长光栅的定向耦合型TM起偏分束器，其特征在于：所述的通道二波导高220nm，宽500nm，耦合直线段长10-20µm。

3.根据权利要求1所述基于亚波长光栅的定向耦合型TM起偏分束器，其特征在于：所述的通道二波导弧形过渡段的弯曲角为75°-90°。

4.根据权利要求1所述基于亚波长光栅的定向耦合型TM起偏分束器，其特征在于：所述通道一耦合段和通道二耦合直线段之间的距离为100-200nm。

5.根据权利要求1所述基于亚波长光栅的定向耦合型TM起偏分束器，其特征在于：所述绝缘衬底SiO₂底板厚度为2µm。