[实用新型]一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及非导电样品测试设备技术领域，尤其涉及一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台。

背景技术

现有技术中，扫描电镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，已广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。在做一些测试时，固定样品通常使用导电胶，但是众所周知，不管是导电胶带还是导电胶水，使用的均是有机物质中间掺导电颗粒制成，所以导电性能不是很好，这导致在测试半导体，如硅，这种类型的样品时经常出现“黑纹”“污染”“漂移”等现象，这些现象极大的降低了图片质量。另外，采用导电胶粘在平台上，在测试后取下样品时，难免会损坏样品。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，测试时无需导电胶固定样品，能够极大改善图片质量、解决“黑纹”和“漂移”的问题，避免损坏样品。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，包括测试平台和设置于所述测试平台底部的底座，所述测试平台和所述底座之间设置有弹性件，所述测试平台上倒扣设置有底部开口的筒形的蒙盖，所述蒙盖的侧壁与所述底座可拆卸连接，所述测试平台的顶面和所述蒙盖的内部顶面中的一个设置有用于放置样品的样品放置结构，所述蒙盖的顶面开设有样品观察口，所述样品观察口对应并连通所述样品放置结构。

作为一种优选方式，所述测试平台、所述底座及所述弹性件均可导电。

作为一种优选方式，所述蒙盖可导电，所述蒙盖的内侧的径向尺寸与所述底座的外侧的径向尺寸相适应。

作为一种优选方式，所述样品放置结构为设置于所述测试平台的顶面且外形与样品相适应的平台凹槽，所述平台凹槽的径向尺寸大于样品的径向尺寸，所述平台凹槽的深度小于样品的厚度。

作为一种优选方式，所述样品观察口的径向尺寸小于样品的径向尺寸，所述样品观察口的中心与所述平台凹槽的中心对齐。

作为一种优选方式，所述样品放置结构为设置于所述蒙盖的内部顶面且外形与样品相适应的蒙盖凹槽，所述蒙盖凹槽的径向尺寸大于样品的径向尺寸，所述蒙盖凹槽的深度小于样品的厚度。

作为一种优选方式，所述样品观察口的径向尺寸小于样品的径向尺寸，所述样品观察口的中心与所述蒙盖凹槽的中心对齐。

作为一种优选方式，所述样品放置结构为设置于所述测试平台的顶面且外形与样品相适应的平台凹槽和设置于所述蒙盖的内部顶面且外形与样品相适应的蒙盖凹槽，所述平台凹槽的径向尺寸、所述蒙盖凹槽的径向尺寸均大于样品的径向尺寸，所述平台凹槽的深度、所述蒙盖凹槽的深度均小于样品的厚度的一半。

作为一种优选方式，所述样品观察口的径向尺寸小于样品的径向尺寸，所述样品观察口的中心与所述平台凹槽的中心、所述蒙盖凹槽的中心对齐。

作为一种优选方式，所述蒙盖的侧部开设有蒙盖连接孔，所述底座的侧部开设有底座连接孔，卡槽栓依次穿过所述蒙盖连接孔、所述底座连接孔中，以实现所述蒙盖与所述底座的连接。

本实用新型的用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，其将样品放置在测试平台或蒙盖上的样品放置结构处，并夹持于测试平台和蒙盖之间，并在观察口处观察样品表面形貌，利用弹性件很好地实现弹性缓冲，从而在蒙盖与底座连接时，蒙盖给予样品挤压力，该挤压力在弹性件的作用下成为柔性挤压，能够避免损坏样品，这种固定方式很好地解决了现有技术中采用导电胶固定样品的缺陷，在测试时无需导电胶固定样品，使得样品固定稳定，能够极大改善图片质量、解决“黑纹”和“漂移”的问题。

附图说明

图1是本实用新型提供的电镜平台的剖面结构示意图；

图2是本实用新型提供的电镜平台在移除蒙盖和卡槽栓后的结构示意图；

图3是本实用新型提供的测试平台的结构示意图；

图4是本实用新型提供的蒙盖的立体结构示意图；

图5是本实用新型提供的蒙盖的俯视结构示意图。

图中：100-样品；

1-测试平台；11-平台凹槽；2-底座；21-底座连接孔；3-弹性件；4-蒙盖；41-样品观察口；42-蒙盖连接孔；5-卡槽栓。

具体实施方式

下面结合附图1-5并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。