[实用新型]用于太阳能电池制造中的设备、和用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的系统

权利要求书

1.一种用于太阳能电池制造中的设备，所述设备包括：

第一致动器，其中第一材料处理装置可连接到所述第一致动器；和

第二致动器，其中第二材料处理装置可连接到所述第二致动器，其中所述第二致动器连接到所述第一致动器，并且其中所述第一致动器被配置为移动所述第二致动器。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一致动器被配置为使得所述第二致动器连同所述第一材料处理装置一起移动。

3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一致动器被配置为用于进行以下至少一者：线性移动所述第一材料处理装置和改变所述第一材料处理装置的角取向。

4.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第二致动器被配置为用于进行以下至少一者：线性移动所述第二材料处理装置和改变所述第二材料处理装置的角取向。

5.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一致动器被配置为用于进行以下至少一者：线性移动所述第二致动器和改变所述第二致动器的角取向。

6.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一致动器和所述第二致动器中的至少一个选自由以下项组成的组：线性电机、步进电机、气动致动器、电动机以及它们的任何组合。

7.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备被配置为：

操作所述第一致动器以使连接到所述第一致动器的所述第一材料处理装置和所述第二致动器移动，其中当所述第一致动器移动所述第二致动器时，连接到所述第二致动器的所述第二材料处理装置连同所述第二致动器一起移动；和

使用所述第一材料处理装置和所述第二材料处理装置中的至少一个执行材料处理。

8.如权利要求7所述的设备，其特征在于，所述第一材料处理装置是印刷装置，并且所述第二材料处理装置是用于在丝网上提供均匀的材料膜的材料分配装置，反之亦然，其中所述设备被配置为：

沿着基板支撑件移动所述第一材料处理装置和所述第二材料处理装置，以便使用所述第一材料处理装置将所述材料从所述丝网传送到所述基板，并且使用所述第二材料处理装置执行对所述丝网上的所述材料的处理。

9.一种用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的系统，所述系统包括：

工艺头部，所述工艺头部能够至少沿着基板支撑件在第一工艺方向上移动，其中所述工艺头部包括：

如权利要求1至8中任一项所述的设备；和

所述第一材料处理装置和所述第二材料处理装置。

10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述第一致动器被配置为用于改变以下至少一者：所述第一材料处理装置相对于所述基板支撑件的距离和角取向。

11.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述第二致动器被配置为用于改变以下至少一者：所述第二材料处理装置相对于所述基板支撑件的距离和角取向。

12.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述第一材料处理装置和所述第二材料处理装置中的至少一个选自由以下项组成的组：印刷装置和用于在丝网上提供基本上均匀的材料膜的材料分配装置。

13.如权利要求12所述的系统，其特征在于，所述第一材料处理装置是印刷装置，并且所述第二材料处理装置是用于在丝网上提供均匀的材料膜的材料分配装置。

14.如权利要求9所述的系统，进一步包括驱动装置，所述驱动装置被配置为用于沿着所述基板支撑件在所述第一工艺方向上移动所述工艺头部，以便进行印刷和材料分配中的至少一个。

15.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述系统进一步被配置为调整所述工艺头部相对于所述基板支撑件的距离和角取向中的至少一个。