[实用新型]一种用于半导体抛光液制作的成套设备

说明书

技术领域

本实用新型属于抛光技术领域，涉及一种抛光液制作，特别是一种用于半导体抛光液制作的成套设备。

背景技术

在信息技术领域中，以半导体材料为基础制作的各种器件，广泛应用于信息的传输、存储、控制、探测，如热敏电阻、磁悬浮、LED显示屏等。而半导体超精密加工工程，需要研磨抛光，其中对抛光液有很高的要求。

但是，如今制作的抛光液由于粒子大小不均，存在分散性不均，颗粒研磨抛光时分散持续时间不够长，划伤和加工速率低等问题。导致工件表面粗糙无法满足半导体后工程制造所需的要求。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于半导体抛光液制作的成套设备，本用于半导体抛光液制作的成套设备在半导体抛光液制作过程中能够进行搅拌、粉碎和循环处理。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

一种用于半导体抛光液制作的成套设备，包括搅拌箱、超声波粉碎仪和成品收集箱，其特征在于，所述的搅拌箱具有空腔，搅拌箱开设有加液口和加料口，加液口上螺纹连接有盖体一，加料口上螺纹连接有盖体二，搅拌箱外顶壁上固定有搅拌电机，搅拌电机的输出轴竖直向下，搅拌电机输出轴的另一端穿设在搅拌箱空腔内，搅拌电机输出轴与搅拌箱顶板之间设有轴承，搅拌电机输出轴通过联轴器连接有搅拌轴，搅拌轴上固定有安装环一和安装环二，安装环一位于安装环二的正上方，安装环一上固定有搅拌组件一，安装环二上固定有搅拌组件二；搅拌箱下端连接有与搅拌箱空腔相连通的连接管一，连接管一的另一端与超声波粉碎仪相连通，所述的连接管一上设置有液泵一，超声波粉碎仪和成品收集箱通过连接管二相连通，所述的连接管二上连通有循环管，循环管的另一端连接在搅拌箱的上端，且循环管与搅拌箱空腔相连通，循环管上设置有液泵二和阀门一，阀门一位于液泵二与搅拌箱之间，所述的连接管二上设置有阀门二，阀门二位于成品收集箱与循环管之间，成品收集箱上连通有出液管。

首先，通过进液管液加入混合液，搅拌电机通过搅拌轴带动搅拌组件一和搅拌组件二先低速搅拌均匀，从加料口缓慢加入粉末，待加入完毕，拧上盖体一和盖体二，搅拌电机加速搅拌。

其次，打开液泵一，混合液进入到超声波粉碎仪，超声波粉碎仪开始工作，通过超声波对搅拌后的大颗粒进行打散形成大小均一的微粒，减少团聚效应，使粒子分散均匀，其中超声波粉碎仪为市面上能够买到的现有产品。

再次，关闭阀门二，开启液泵二和阀门一，混合液再次回到搅拌箱，循环多次。

最后，关闭阀门一，开启液泵二和阀门二，使搅拌制作好的半导体抛光进入到成品收集箱。

在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的安装环一上水平固定有安装轴一和安装轴二，安装轴一和安装轴二相互平行，搅拌组件一包括搅拌叶片一、搅拌叶片二、搅拌叶片三和搅拌叶片四，搅拌叶片一和搅拌叶片二固定在安装轴一的两端，搅拌叶片三和搅拌叶片四固定在安装轴二的两端。

在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的搅拌轴位于搅拌叶片一和搅拌叶片二之间，搅拌叶片一和搅拌叶片二相垂直，搅拌轴位于搅拌叶片三和搅拌叶片四之间，搅拌叶片三和搅拌叶片四相垂直，且搅拌叶片一和搅拌叶片三相互平行，搅拌叶片二和搅拌叶片四相互平行。实现搅拌叶片一、搅拌叶片二、搅拌叶片三和搅拌叶片四双轴交叉搅拌。

在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的搅拌组件二包括通过螺钉水平固定在安装环二上的搅拌叶片五和搅拌叶片六。搅拌叶片一、搅拌叶片二、搅拌叶片三、搅拌叶片四、搅拌叶片五和搅拌叶片六采用这样的设置，能够保证搅拌箱内混合液体得到充分的循环搅拌。

在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的搅拌箱顶板连接有与搅拌箱空腔相连通的抽气管，抽气管上设置有真空泵。真空泵对搅拌箱进行抽真空，防止粉粒沉淀，使搅拌更加均匀，还可以加快搅拌速率，提高工作效率。

在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的出液管的另一端连接有出液龙头。

在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的搅拌箱上设置有开关，所述的声波粉碎仪、搅拌电机、液泵和真空泵均通过线路与开关相连接，搅拌箱上设置有控制箱，控制箱通过线路与开关相连接。