[实用新型]混酸系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种混酸系统，特别是关于一种提供洗涤药液的混酸系统。

背景技术

于半导体制造过程中，半导体需要经过多次洗涤，以洗去位于板导体表面的残余物，或是于制造过程中所留于半导体表面的化学物。于每次洗涤时，所使用的洗涤剂(或称为药剂)可能具有不同的浓度、温度或酸碱值，以实际配合制造过程需求。

但是，现有的洗涤装置于面对上述的多次洗涤情况时，仅停止洗涤作业，然后更换适合该洗涤程序的洗涤剂。但对讲求时效的半导体制造商而言，每次更换洗涤剂的程序随之带来成本提升与工时增加，故现有的洗涤程序或洗涤装置仍有可以改善的空间。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种混酸系统，以解决上述成本提升与工时增加的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供的混酸系统用于一洗涤腔，该混液系统包含有：

一第一混液槽，其具有一第一液控手段；

一第二混液槽，其具有一第二液控手段；

一浓度控制手段；以及

一切换手段；

其中，该第一混液槽具有一第一药液，该第二混液槽具有一第二药液，该第一液控手段侦测该第一药液于该第一混液槽中的液面位置，以判断是否进行一补液的动作，该第二液控手段侦测该第二药液于该第二混液槽的液面位置，以判断是否进行一补液的动作；该浓度控制手段侦测该第一药液或该第二药液的浓度，以判断是否进行改变该第一药液或该第二药液的浓度的动作；该切换手段切换该第一混液槽或该第二混液槽，以使该第一药液或该第二药液提供给该洗涤腔。

本实用新型提供的混酸系统应用于一洗涤腔，该混酸系统包含有：

一混液槽；

一液位计，其设于该混液槽；以及

一浓度计，其耦接该混液槽与该洗涤腔之间的连通管线；

其中，该混液槽容置一药液，该液位计侦测该药液的液面高度，该浓度计侦测该药液的浓度。

于一实施例，该第一混液槽还具有一第一温控手段，该第二混液槽还具有一第二温控手段，该第一温控制手段控制该第一药液的温度，该第二温控控制该第二药液的温度。

于一实施例，该浓度控制手段具有至少一浓度计、至少一泵浦与至少一药液槽与一补液槽，该浓度计耦接该泵浦与该洗涤腔，该泵浦耦接该第一混液槽，另一浓度计耦接另一泵浦与该洗涤腔，该另一泵浦耦接该第二混液槽，该药液槽耦接该第一混液槽与该第二混液槽，该补液槽耦接该第一混液槽与该第二混液槽。

于一实施例，该切换手段具有一第一阀体，该第一阀体设于该洗涤腔、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线；该切换手段还具有一第二阀体与一第三阀体，该第二阀体设于该洗涤腔、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线，该第三阀体设于该补液槽、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线。

于一实施例，一温控手段控制该药液的温度，该温控手段设于该混液槽或设于该洗涤腔与该混液槽之间的连通管线。该温控手段还具有一温度计、一冷却器与一加热器，该温度计、该冷却器与该加热器设于该混液槽或设于该洗涤腔与该混液槽之间的连通管线，并且该浓度计还耦接一泵浦，该泵浦耦接该混液槽，该混液槽耦接一补液槽与一药液槽。

综合上述，本实用新型提供的混酸系统于不同洗涤程序时无须更换药液，仅使用切换手段，即可切换药液，进而可降低成本与工时。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种混酸系统的第一实施例的示意图；

图2为本实用新型提供的一种混酸系统的第二实施例的局部示意图。

附图标记说明：1-清洗端；10-洗涤腔；11-喷洒头；20-第一混液槽；21-第二混液槽；22-浓度控制手段；220-药液槽；221-药液槽；222-补液槽；223-浓度计；224-浓度计；225-泵浦；226-泵浦；23-切换手段；230-第一阀体；231-第二阀体；232-第三阀体；233-第四阀体；234-第五阀体；235-第六阀体；24-第一温控手段；240-第一加热器；241-第一冷却器；242-第一温度计；25-第二温控手段；250-第二加热器；251-第二冷却器；252-第二温度计；26-第一控液手段；27-第二控液手段；3-厂务端；40-混液槽；41-控液手段；410-液位计；42-温控手段；420-温度计；421-冷却器；422-加热器；43-浓度控制手段；430-泵浦；431-浓度计；44-第一阀体；45-第二阀体；46-第三阀体；50-清洗端；51-厂务端。

具体实施方式