[实用新型]一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀

权利要求书

1.一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：所述超高真空超薄插板阀的整体厚度小于8mm；

包括阀安装件、阀体机构和直线导入器；

所述阀安装件为板状，中部开设有通孔，周边均布法兰孔，阀安装件的一侧面设有一对导轨，一对导轨对称位于通孔的两侧；

所述阀体机构包括活动铰链、导向连接件和阀板，所述阀板的中部开设有阀孔，阀板的上端通过活动铰链连接着直线导入器的伸缩杆；阀板通过导向连接件与一对导轨上的导向槽的配合设于阀安装件上；

所述直线导入器位于阀安装件外侧的上部；阀板的上下移动由直线导入器通过活动铰链驱动；

工作时，所述阀体机构在直线导入器的作用下，沿一对导轨实现上下移动；当阀体机构中的导向连接件上移至导向槽中的上止点，使阀孔和通孔重合贯通时，所述超高真空超薄插板阀为打开状态；当阀体机构中的导向连接件下移至导向槽中的下止点，使阀孔和通孔完全不贯通时，所述超高真空超薄插板阀为关闭状态。

2.根据权利要求1所述的一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：与阀板上的阀孔对应的所述阀安装件上的通孔的轴向一侧圆周上开设有密封槽，密封槽内设有密封圈，密封时，密封圈的轴向的外侧端面与阀板的板面接触。

3.根据权利要求2所述的一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：所述密封槽为燕尾槽，所述密封圈为O型密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：所述阀板的厚度小于5mm。

5.根据权利要求1所述的一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：所述一对导轨结构相同，相对应的内侧面上沿长度方向开设有两段结构相同、长度相等的导向槽，所述导向槽包括上止点、上直槽和下止点，上直槽和下止点之间由斜槽和下直槽光滑过渡连接；与导轨上的导向槽配合，阀板的两侧分别设有两个导向连接件；导向连接件一端安装在阀板两侧的连接件安装孔中，另一端配合安装于导向槽内。

6.根据权利要求5所述的一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：导向连接件包括配合的固定轴和轴套；阀板的运动路径由固定轴和轴套在导向槽中的运动路径确定。

7.根据权利要求1所述的一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：所述活动铰链由短杆和长杆通过两只连接臂连接组成，且短杆和长杆平行；所述短杆的中部连接着直线导入器的伸缩杆，所述长杆的两端分别连接着阀板。

8.根据权利要求7所述的一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：所述阀板的上端中部开设有向下凹的U形安装槽，U形安装槽的两侧分别开设有安装通孔，所述长杆的两端配合设于安装通孔内，安装通孔的外端为螺纹孔，螺纹孔内设有外螺纹堵头。

9.根据权利要求1所述的一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：阀安装件的上部设有安装法兰，直线导入器中的伸缩杆插设于安装法兰内，直线导入器通过导入器法兰与安装法兰的配合连接，设于阀安装件外侧。

10.根据权利要求1所述的一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀，其特征在于：所述阀板上设有一个以上的放气孔。