[实用新型]一种中心圈有效
申请号: | 201720486981.4 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN206929394U | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | 袁鹏华;潘无忌;许文泽;李炯;刘东升;朱骏;张旭升 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | F16K17/04 | 分类号: | F16K17/04 |
代理公司: | 上海申新律师事务所31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 中心 | ||
1.一种中心圈,应用于机台真空系统,所述中心圈包括O型环,设于O型环内的内圈,其特征在于,还包括:
底部基座,所述底部基座是从所述内圈的内侧下边缘向中心延伸并且与内圈呈“L”型的结构,
固定片,所述固定片固定于所述底部基座上;
活动片,所述活动片的部分形状与所述固定片的部分形状相匹配以彼此接合,且所述活动片可活动地设置于所述底部基座上;
弹性机构,所述弹性机构连接所述固定片和活动片,以控制所述活动片的打开或盖合。
2.根据权利要求1所述的中心圈,其特征在于,所述弹性机构包括:
固定杆,所述固定杆可拆卸地垂直设置于所述固定片上;
固定垫片,所述固定垫片可拆卸地设置于所述活动片上;
弹簧,所述弹簧一端可拆卸地连接固定杆的上端,另一端可拆卸地连接固定垫片。
3.根据权利要求1所述的中心圈,其特征在于,所述活动片包括圆弧部分和横截面部分,所述圆弧部分的面积大于以所述活动片的圆心为圆心、以所述活动片的半径为半径的圆的面积的一半。
4.根据权利要求1所述的中心圈,其特征在于,所述固定片呈半圆形,并且从所述固定片的直径向圆弧的延伸处设置有一弧形凹槽,该弧形凹槽的形状与跟活动片连接处的形状相匹配,以将活动片的部分放置于所述弧形凹槽中。
5.根据权利要求4所述的中心圈,其特征在于,所述弧形凹槽的直径大于所述底部基座的直径。
6.根据权利要求2所述的中心圈,其特征在于,所述固定杆通过固定片上的通孔将其可拆卸地穿过并固定于所述固定片上;和/或
所述固定垫片通过活动片上的通孔将其可拆卸地穿过并固定于所述活动片上。
7.根据权利要求3所述的中心圈,其特征在于,在所述固定片与所述活动片的连接处的下方设置有一包括圆形凹槽的固定柱;
所述活动片的横截面部分的下方设置有与所述圆形凹槽的形状相匹配的固定柱,以在所述弹性机构的带动下打开或盖合所述活动片。
8.根据权利要求1所述的中心圈,其特征在于,所述底部基座的直径为20mm。
9.根据权利要求1所述的中心圈,其特征在于,所述固定片的直径为23.8mm。
10.根据权利要求1所述的中心圈,其特征在于,所述活动片的直径为21.4mm。
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