[实用新型]一种研磨液供应装置有效
申请号: | 201720487909.3 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN206855264U | 公开(公告)日: | 2018-01-09 |
发明(设计)人: | 李春 | 申请(专利权)人: | 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司 |
主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02 |
代理公司: | 青岛高晓专利事务所(普通合伙)37104 | 代理人: | 黄晓敏 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 研磨 供应 装置 | ||
1.一种研磨液供应装置,其特征在于,包括:
一盛液桶,其为圆柱体,顶部设有加液口和用于对研磨液进行搅拌的电机;底部为出液口.
一导管,一端管接所述盛液桶,另一端接出液口,所述导管上设有泵体、液位检测器和第一阀体,且所述第一阀体设置在靠近所述出液口的一端;
一溢流液管,一端管接所述液位检测器,另一端管接溢流液桶;
一导回管,一端管接所述盛液桶,另一端管接所述导管的泵体与出液口之间的位置,且其上设有第二阀体;
一导回支管,一端管接所述溢流液桶,另一端管接所述导回管中段;
所述盛液桶、导管、溢流液管、导回管、导回支管均设于壳体内,所述壳体包括框架和蒙皮,所述盛液桶和所述泵体与框架固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种研磨液供应装置,其特征在于,所述壳体顶部设有能够开启和关闭的门,所述门上设有窗口和接口。
3.根据权利要求1或2所述的一种研磨液供应装置,其特征在于,所述壳体侧面设有窗口,通体上架设液位传感器,桶底有漏液传感器。
4.根据权利要求1所述的一种研磨液供应装置,其特征在于,所述泵体为隔膜泵,并具备改造为电磁泵的接口。
5.根据权利要求3所述的一种研磨液供应装置,其特征在于,所述壳体底部设有万向轮及固定支脚。
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