[实用新型]曝光机基板对位装置

权利要求书

1.曝光机基板对位装置，其特征在于：该装置具有上料部（1）、初整列部（2）、对位校准部（3）以及连接上料部（1）、初整列部（2）和对位校准部（3）的机械手（4）；所述初整列部（2）用于靠边整列基板；所述对位校准部（3）是一个X/Y/θ调节平台，对位校准部（3）上具有围绕对位校准部（3）中心分布且分区控制的顶针（31）及真空吸气槽（32）。

2.根据权利要求1所述的曝光机基板对位装置，其特征在于：所述机械手（4）是叉车式助力机械手，上料部（1）、初整列部（2）及对位校准部（3）围绕在机械手（4）外围。

3.根据权利要求1或2所述的曝光机基板对位装置，其特征在于：所述初整列部（2）具有围合成方框的整列块（21），相对边上的整列块（21）由一套电机丝杆驱动整列，丝杆上具有正反螺纹，以同步驱动相对边上的整列块（21）相对移动整列。

4.根据权利要求1所述的曝光机基板对位装置，其特征在于：所述对位校准部（3）上方设有第一CCD镜头（5）和第二CCD镜头（6）；第一CCD镜头（5）有两个，分布在对位校准部（3）的其一对角上；第二CCD镜头（6）有两个，分布在对位校准部（3）的另一对角上；第一CCD镜头（5）的分辨率高于第二CCD镜头（6）。