[实用新型]一种制绒槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳电池制造技术领域，具体涉及一种制绒槽。

背景技术

常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能，并使之转变成电能的直接发电方式，是当今太阳光发电的主流。时下，人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电，亦称太阳能电池发电。可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。其中，晶体硅太阳能电池由于丰富的硅储量得到了广泛应用。

现有的晶体硅太阳能电池的制备工艺如下：清洗制绒→扩散→刻蚀/去PSG→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分档→分选→包装。其中，制绒是为了在硅片表面形成绒面，以提高硅片的陷光作用。现有技术中，制绒一般在制绒槽中进行，制绒槽一般包括槽体、药液循环系统以及废气抽吸系统，槽体上端口敞开以便于取放盛放硅片的花篮，药液循环系统用于循环药液，以使药液保持均匀的浓度，废气抽吸系统用于抽吸聚集在药液液面上方的废气，用于保证工作环境的安全。

然而，由于槽体上端口敞开，因此药液循环系统的进液口一般设置在槽体的侧壁上，药液循环系统的进液口设置在槽体侧壁上，药液不能均匀的喷洒，使得药液在槽体内腔中的循环路径比较单一，一定程度上影响了药液中硅片反应的均匀度，而且在槽体的侧壁设置通孔，对槽体的强度有一定的破坏，在意外情况时，还可能导致化学药液溢出。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种制绒槽，通过在槽体内腔的出口处设置盖板，将进液口设在盖板上，进液口同时向其四周喷洒药液，药液循环系统的喷射范围更大，药液喷洒更加均匀，硅片在槽体内均匀反应。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种制绒槽，包括槽体和循环泵，所述槽体分别设有连通其内腔和其外部的出液口和进液口，所述循环泵置于所述槽体外部，所述出液口、所述循环泵以及所述进液口经循环管路依次连通以循环药液，所述槽体内腔的出口处还设有可开启式盖板，所述进液口设于所述盖板上。

进一步的，所述盖板活动连接于所述槽体上以向上平开开启。

进一步的，两扇所述盖板分别铰接于所述槽体的相对两侧壁上。

进一步的，所述盖板设有驱动其开启的伺服驱动装置，所述伺服驱动装置与控制装置电连接。

进一步的，所述循环管路的至少一段设置为柔性管。至少一段设置为柔性管的目的是为了防止盖板开启时带动循环管路变形致使循环管路折断。

进一步的，所述进液口还连接有位于所述槽体内腔中的喷淋管。

进一步的，所述喷淋管竖直安装于所述槽体内腔中，其若干喷淋孔密布于其侧壁上。

进一步的，自上而下依次设置的喷淋孔孔径依次递增。

进一步的，所述喷淋管外轮廓的长度为6-6.5cm，直径为3-4cm，所述喷淋孔孔径为0.1-0.3cm，相邻两喷淋孔的中心距离为0.2-0.4cm。

进一步的，所述出液口设于所述槽体底部。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

（1）本实用新型公开的制绒槽，通过在槽体内腔的出口处设置盖板，将进液口设在盖板上，进液口同时向其四周喷洒药液，喷射范围更大，药液循环系统的药液喷洒更加均匀，让硅片在槽体内均匀反应；

（2）本实用新型公开的制绒槽，通过设置喷淋管，每根喷淋管长度和外径不影响花篮取放，在喷淋管取密集喷淋孔（小孔），喷淋孔的水压会大（相对于疏散大孔），药液喷射距离相对较远，改善了药液循环效果；

（3）本实用新型公开的制绒槽，药液自喷淋管自上而下的过程中，药液流量逐渐递减，通过将喷淋孔的孔径由上到下依次递增，使得自上而下的各喷淋孔的喷淋距离也自上而下递减，从而使得喷淋管的喷射范围更大，药液循环更加均匀。

附图说明

图1是本实用新型公开的制绒槽盖板关闭状态的示意图。

图2是本实用新型公开的制绒槽盖板开启状态的示意图。

其中：10、槽体；11、盖板；11a、第一板体；11b、第二板体；21、出液口；22、循环泵；23、进液口；24、循环管路；25、喷淋管；31、负压装置；32、抽吸口；33、抽吸管路；34、抽吸腔室。

具体实施方式

结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图1和图2，如其中的图例所示，一种制绒槽，包括：