[实用新型]一种制绒槽有效

专利信息
申请号: 201720493393.3 申请日: 2017-05-05
公开(公告)号: CN206742268U 公开(公告)日: 2017-12-12
发明(设计)人: 杨健;党继东 申请(专利权)人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 代理人: 陆金星
地址: 215129 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 制绒槽
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及太阳电池制造技术领域,具体涉及一种制绒槽。

背景技术

常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能,并使之转变成电能的直接发电方式,是当今太阳光发电的主流。时下,人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电,亦称太阳能电池发电。可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。其中,晶体硅太阳能电池由于丰富的硅储量得到了广泛应用。

现有的晶体硅太阳能电池的制备工艺如下:清洗制绒→扩散→刻蚀/去PSG→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分档→分选→包装。其中,制绒是为了在硅片表面形成绒面,以提高硅片的陷光作用。现有技术中,制绒一般在制绒槽中进行,制绒槽一般包括槽体、药液循环系统以及废气抽吸系统,槽体上端口敞开以便于取放盛放硅片的花篮,药液循环系统用于循环药液,以使药液保持均匀的浓度,废气抽吸系统用于抽吸聚集在药液液面上方的废气,用于保证工作环境的安全。

然而,由于槽体上端口敞开,因此废气抽吸系统的抽吸口一般设置在槽体的侧壁上,槽体上端口敞开,废气抽吸系统的抽吸口设置在槽体侧壁上,废气抽吸方向与废气上升方向不同,不能保证全部的废气均可以被抽吸;而且在槽体的侧壁设置通孔,对槽体的强度有一定的破坏。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种制绒槽,通过在槽体内腔的出口处设置盖板,将抽吸口设在盖板上,一方面,盖板阻隔废气防止废气向上扩散,另一方面抽吸口设于药液液面上方,能够均匀抽吸废气,避免槽体上聚集大量废气无法散发,影响安全。

为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种制绒槽,包括槽体和负压装置,所述槽体设有连通其内腔和其外部的抽吸口,所述负压装置和所述抽吸口经抽吸管路连通以抽吸废气,所述槽体内腔的出口处还设有可开启式盖板,所述抽吸口设于所述盖板上。

进一步的,所述盖板活动连接于所述槽体上以向上平开开启。

进一步的,两扇所述盖板分别铰接于所述槽体的相对两侧壁上。

进一步的,所述盖板设有驱动其开启的伺服驱动装置,所述伺服驱动装置与控制装置电连接。

进一步的,所述抽吸管路的至少一段设置为柔性管。至少一段设置为柔性管的目的是为了防止盖板开启时带动抽吸管路变形致使抽吸管路折断。

进一步的,所述盖板上密布有若干所述抽吸口。

进一步的,若干所述抽吸口经一抽吸腔室连通所述抽吸管路。

进一步的,所述盖板包括上下设置的上板体和下板体,所述上板体底面设有凹槽,所述凹槽的槽底设有贯通所述上板体上表面的连接孔,所述连接孔与所述抽吸管路连接,所述下板体与所述凹槽的槽口无缝相接,所述抽吸口贯通设于所述下板体上,若干所述抽吸口均与所述凹槽连通。

进一步的,所述抽吸口孔径为2-2.5cm,相邻两抽吸口中心距离为4-5.5cm。

进一步的,所述负压装置提供的负压为300-500Pa。

由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:

(1)本实用新型公开的制绒槽,通过在槽体内腔的出口处设置盖板,将抽吸口设在盖板上,一方面,盖板阻隔废气防止废气扩散,另一方面抽吸口设于药液液面上方,能够均匀抽吸从液面上升的废气,避免槽体上聚集大量酸气无法散发,影响安全;

(2)本实用新型公开的制绒槽,通过设置若干抽吸口和一个抽吸腔室,抽吸腔室将负压均匀分配至各个抽吸口,实现均匀抽吸废气,且只需一根抽吸管路即可实现多干抽吸口的负压供应;

(3)本实用新型公开的制绒槽,负压装置提供的负压保证了抽吸口具有充足的抽吸负压。

附图说明

图1是本实用新型公开的制绒槽盖板关闭状态的示意图。

图2是本实用新型公开的制绒槽盖板开启状态的示意图。

其中:10、槽体;11、盖板;11a、第一板体;11b、第二板体;21、出液口;22、循环泵;23、进液口;24、循环管路;25、喷淋管;31、负压装置;32、抽吸口;33、抽吸管路;34、抽吸腔室。

具体实施方式

结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:

实施例一

参见图1和图2,如其中的图例所示,一种制绒槽,包括:

-槽体10,其具有内腔,并在内腔出口处可开启式设有盖板11;

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