[实用新型]一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备

权利要求书

1.一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备，其特征在于，包括有底板(1)、左架(2)、顶板(3)、研磨框(4)、研磨片(5)、调节机构(6)、升降机构(7)和旋转机构(8)，底板(1)顶部左侧安装有左架(2)，左架(2)顶端连接有顶板(3)，底板(1)顶部右侧安装有旋转机构(8)，旋转机构(8)上连接有研磨框(4)，研磨框(4)底部连接有调节机构(6)，顶板(3)底部中间安装有升降机构(7)，升降机构(7)底部连接有研磨片(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备，其特征在于，调节机构(6)包括有第一滑块(61)、研磨盘(62)、固定块(64)、第一插销(65)、第二插销(66)和第一滑轨(67)，研磨框(4)内底部开有第一滑轨(67)，第一滑轨(67)上滑动式连接有第一滑块(61)，第一滑块(61)连接有研磨盘(62)，研磨盘(62)顶部均匀开有放置槽(63)，研磨盘(62)左右两侧均开有凹槽(611)，研磨框(4)左右两侧均安装有固定块(64)，固定块(64)水平开有第一销孔(69)，固定块(64)垂直开有第二销孔(610)，研磨框(4)左右两侧底部均开有第一通孔(68)，第一销孔(69)内插有第一插销(65)，第一插销(65)内开有第二通孔(612)，第一插销(65)穿过第一销孔(69)、第一通孔(68)和凹槽(611)，第二销孔(610)内插有第二插销(66)，第二插销(66)穿过第二销孔(610)和第二通孔(612)。

3.根据权利要求2所述的一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备，其特征在于，旋转机构(8)包括有支撑杆(81)、圆形滑轨(82)、第三滑块(83)、电机(84)和第二转轴(85)，底板(1)顶部右侧安装有支撑杆(81)，底板(1)底部右侧安装有电机(84)，支撑杆(81)在电机(84)左右两侧，电机(84)顶部连接有第二转轴(85)，支撑杆(81)顶端连接有圆形滑轨(82)，圆形滑轨(82)上滑动式连接有第三滑块(83)，第三滑块(83)顶部连接有研磨框(4)，研磨框(4)底部中心与第二转轴(85)顶端连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备，其特征在于，升降机构(7)包括有安装板(71)、第二滑轨(72)、第二滑块(73)、第一轴承座(74)、第一转轴(75)、第一锥齿轮(76)、摇杆(77)、第二轴承座(78)、第三轴承座(79)、丝杆(710)、第二锥齿轮(711)、螺母(712)和L型连杆(713)，顶板(3)底部中间设有安装板(71)，安装板(71)底部连接有第二滑轨(72)，第二滑轨(72)上滑动式连接有第二滑块(73)，第二滑轨(72)右侧上部安装有第一轴承座(74)，第一轴承座(74)右侧连接有第一转轴(75)，第一转轴(75)上连接有第一锥齿轮(76)，第一转轴(75)右端连接有摇杆(77)，第二滑轨(72)右侧上部设有第二轴承座(78)，第二轴承座(78)位于第一轴承座(74)下部，第二滑轨(72)右侧下部设有第三轴承座(79)，第二轴承座(78)和第三轴承座(79)之间连接有丝杆(710)，丝杆(710)上连接有螺母(712)，螺母(712)与丝杆(710)配合，螺母(712)左侧与第二滑块(73)连接，螺母(712)右侧连接有L型连杆(713)，L型连杆(713)底端与研磨片(5)连接，丝杆(710)顶端连接有第二锥齿轮(711)，第二锥齿轮(711)与第一锥齿轮(76)啮合。

5.根据权利要求4所述的一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备，其特征在于，研磨片(5)的材质为氧化硅。

6.根据权利要求5所述的一种用于电子产品制造的晶圆研磨设备，其特征在于，电机(84)为高速电机(84)。