[实用新型]一种玻璃微沟槽加工装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃加工领域，尤其涉及一种玻璃微沟槽加工装置。

背景技术

玻璃具有一系列优异的物理化学性能,广泛地应用在航空、国防、科研等领域中。但因为其典型的高硬脆性特性,使其结构件的加工制造一直存在难题, 其微沟槽的加工是其中一个难题，而这种玻璃微沟槽在微电子封装、MEMS 器件封装,生物和医疗等领域具有巨大的应用需求。

玻璃属于硬脆材料，加工玻璃的方法有很多，主要是激光加工。

激光加工是利用光的能量经过透镜聚焦后在焦点上达到很高的能量密度，靠光热效应来加工的。

然而这种激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差。

而湿法刻蚀是使用HF腐蚀玻璃，HF有剧毒对操作人员与环境都很不友好；激光刻蚀出来的沟槽的质量较差；等离子刻蚀对设备和环境要求高；微磨料水射流加工效率较低。

因此，激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差是本领域技术人员需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型实施例公开了一种玻璃微沟槽加工装置，用于解决激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差的技术问题。

本实用新型实施例提供了一种玻璃微沟槽加工装置，包括：激光器、工件、喷嘴；

所述激光器设置于所述工件的一侧，用于发送激光至所述工件；

所述喷嘴设置于所述工件的另一侧，用于喷射微细射流至所述工件。

优选地，所述激光器的透镜距离所述工件的另一侧表面的距离为所述透镜的焦距，使得所述激光器发出的激光能够聚焦到所述工件的另一侧表面。

优选地，本发明实施例还包括两条加工轨道；

所述两条加工轨道分别设置于所述工件的两侧；

所述激光器具体设置于所述工件的一侧的加工轨道上；

所述喷嘴具体设置于所述工件的另一侧的加工轨道上；

所述两条加工轨道的形状相同。

优选地，所述两条加工轨道上分别设置有第一滑轮和第二滑轮；

所述激光器具体通过第一滑轮设置于所述工件的一侧的加工轨道上；

所述喷嘴具体通过第二滑轮设置于所述工件的另一侧的加工轨道上。

优选地，所述喷嘴具体为喷射高压水与微细磨料混合的微细射流的喷嘴。

优选地，所述工件具体为待加工玻璃。

从以上技术方案可以看出，本实用新型实施例具有以下优点：

本实用新型实施例提供了一种玻璃微沟槽加工装置，包括：激光器、工件、喷嘴；所述激光器设置于所述工件的一侧，用于发送激光至所述工件；所述喷嘴设置于所述工件的另一侧，用于喷射微细射流至所述工件。本实用新型通过激光快速高效的粗加工出流道，微磨料水射流进行精加工，不仅可以起到冷却作用，还可以把切屑带走，防止其粘附在工件表面，大大提高了加工表面质量。可以降低激光加工的热影响；可以加工更深质量更好的沟槽。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种玻璃微沟槽加工装置的一个实施例的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种玻璃微沟槽加工装置，用于解决激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差的技术问题。

请参阅图1，本实用新型实施例提供的一种玻璃微沟槽加工装置的一个实施例，包括：激光器1、工件2、喷嘴3；

激光器1设置于工件2的一侧，用于发送激光至工件2；

喷嘴3设置于工件2的另一侧，用于喷射微细射流至工件2。

本实用新型通过激光快速高效的粗加工出流道，微磨料水射流进行精加工，不仅可以起到冷却作用，还可以把切屑带走，防止其粘附在工件2表面，大大提高了加工表面质量。可以降低激光加工的热影响；可以加工更深质量更好的沟槽。

进一步地，激光器1的透镜距离工件2的另一侧表面的距离为透镜的焦距，使得激光器1发出的激光能够聚焦到工件2的另一侧表面。

工件2的另一侧表面实际上为待加工的表面，激光和微细射流都在这个另一侧表面对工件2进行加工。

进一步地，本发明实施例还包括两条加工轨道；

两条加工轨道分别设置于工件2的两侧；

激光器1具体设置于工件2的一侧的加工轨道上；