[实用新型]一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组有效

专利信息
申请号: 201720494513.1 申请日: 2017-05-05
公开(公告)号: CN206735342U 公开(公告)日: 2017-12-12
发明(设计)人: 靳立辉;张学强;王国瑞;崔振强;陈志达;姚长娟;渠丽岩;杨海亮;杨明;丁吉祥;张华帅;赵晓光;尹擎 申请(专利权)人: 天津中环半导体股份有限公司
主分类号: B65G47/90 分类号: B65G47/90;B28D7/00;B28D5/00;C30B33/06;H01L31/18
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211 代理人: 李纳
地址: 300384 天津市滨海新区高新区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 粘接晶棒 全自动 机组
【说明书】:

技术领域

发明创造属于晶棒加工技术领域,尤其是涉及一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组。

背景技术

随着光伏行业的技术发展,生产商对相关生产设备的自动化要求越来越高。硅片的生产过程中,晶棒的粘接处理是生产环节中必不可少的一步,但也是自动化程度比较低的一个环节。目前,大多数制造商在晶棒的粘接工序中多是靠人工手动完成,自动化程度低,工装与粘接完毕的晶棒重量可达100KG,搬运过程费力费时,工作效率低、劳动强度高。

发明内容

有鉴于此,本发明创造旨在提出一种自动化程度高、生产效率高的针对晶棒粘接的全自动粘棒机组,以解决上述问题。

为达到上述目的,本发明创造的技术方案是这样实现的:

一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,包括料座上料机构、拆分机械手、治具回流线、晶棒上料机构、桁架机械手、粘棒机、预固化流水线及数字固化库;

所述拆分机械手位于所述料座上料机构的上方,所述治具回流线的两端分别与所述拆分机械手和所述晶棒上料机构对接,所述治具回流线上设有治具,所述桁架机械手包括抓取机械手和滑动轨道,所述滑动轨道设于所述粘棒机进料端的上方,且所述滑动轨道的一端位于所述晶棒上料机构的上方;

所述预固化流水线的进料端与所述粘棒机出料端对应,所述预固化流水线的出料端位于所述拆分机械手的下方;

所述数字固化库的进料端与所述拆分机械手对接。

进一步的,所述粘棒机的入料端和出料端、所述料座上料机构、所述拆分机械手及所述数字固化库均装有读取料座上的RFID电子标签的RFID读写器。

进一步的,所述晶棒上料机构包括晶棒升降机、晶棒传送机构、晶棒待料位、晶棒测距机构及与所述治具回流线对接的工装待料位,还包括扫描设于晶棒上的识别标签的工业相机。

进一步的,所述抓取机械手包括可沿所述滑动轨道滑动的晶棒上料桁架机械手和工装上料桁架机械手;所述晶棒上料桁架机械手通过吸盘搬运晶棒,所述工装上料桁架机械手通过夹爪抓取装有料座的治具。

进一步的,所述滑动轨道有两个,所述晶棒上料桁架机械手和所述工装上料桁架机械手分别设于两个滑动轨道上;所述晶棒待料位及所述工装待料位分别与所述晶棒上料桁架机械手及所述上料桁架机械手对应。

进一步的,所述粘棒机的进料端设有两个传送带入料口,分别为晶棒入料口和工装入料口,所述晶棒入料口和所述工装入料口分别与所述单晶桁架机械手和所述工装桁架机械手对应;所述粘棒机的出料端设有出料传送线。

进一步的,所述预固化流水线有三层且与所述桁架机械手的滑动轨道平行设置,所述预固化流水线的两端安装有物料升降机构;最上层的流水线上设有刮胶工位,最下层流水线位于所述拆分机械手下方的一端为出料口;所述预固化流水线上的刮胶工位与所述粘棒机之间设有将所述出料传送线上粘接后的晶棒转运到所述刮胶工位的对接升降机。

进一步的,所述物料升降机构包括位于所述预固化流水线出料端的成品升降机和位于远离所述出料端的转移升降机;所述成品升降机包括物料升降转移平台、物料水平过渡平台及成品升降平台;所述转移升降机包括将中间层流水线上的物料转运到最下层流水线上的转移平台。

进一步的,所述数字固化库包括晶棒固化库、设于所述晶棒固化库进料端上料堆垛机及设于所述固化库出料端的下料堆垛机;所述固化库内的存放货架,采用行列式标号,每个存放位均采用条形码定位;所述上料堆垛机及所述下料堆垛机均安装有条形码阅读仪。

相对于现有技术,本发明创造所述的一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组具有以下优势:

(1)本发明创造所述的粘棒机组可实现晶棒及料座自动上料、晶棒及料座自动粘接、治具自动回流、粘接好的晶棒与治具的自动拆分、粘接后的晶棒自动存入数字固化库并根据需求自动出库,自动化程度高、可以有效减少人工参与、降低工人劳动强度的同时生产效率高,产能远大于人工产能。

(2)本发明创造所述的粘棒机组实现信息化管理,粘棒机的入料端和出料端、料座上料机构、拆分机械手及数字固化库均装有用于读取料座上的RFID电子标签的RFID读写器,晶棒上料机构装有扫描晶棒上的识别标签的工业相机,能够记录产品在生产过程中的所有状态并可上传到MES系统中,实现对粘棒工艺的每个步骤的严格控制,使得粘棒工艺流程变得更加清晰明了并可实现对产品的追溯。

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