[实用新型]材料表面处理工艺过程中的等离子体三维信息诊断系统

权利要求书

1.一种材料表面处理工艺过程中的等离子体三维信息诊断系统，其特征在于：所述诊断系统包括计算机、第一平面反射镜、聚焦透镜、入射狭缝、第二平面反射镜、第一球面反射镜、凸面光栅、第二球面聚焦镜和面阵探测器，所述诊断系统布置在表面处理工艺腔体外，所述诊断系统最前端为可旋转式平面反射镜，所述诊断系统采用聚焦镜头将平面反射镜采集的光聚焦到Offner成像光谱仪的入射狭缝处，所述诊断系统利用平面反射镜来偏转光路，所述诊断系统包括有二维面阵探测器，其所采集数据一维为光谱维，另一维为空间维，所述平面反射镜的旋转、面阵探测器的数据采集、采集图谱的拼接与计算机连接，所述平面反射镜的扫描速度与面阵探测器采集的速度相互匹配。

2.根据权利要求1所述的等离子体三维信息诊断系统，其特征在于：所述诊断系统可同时获取等离子体二维空间分布和一维光谱分布，同时获取多种等离子体的空间分布情况，根据所获得等离子体分布特征即可对当前表面处理效果进行评估。

3.根据权利要求1所述的等离子体三维信息诊断系统，其特征在于：所述Offner成像光谱诊断系统包括Offner成像分光系统，所述Offner成像分光系统由第一球面镜、凸面光栅、第二球面镜构成构成，三个光学元件采用同心圆结构相连接，整个系统结构对称。